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利用氧化鋁膜為模板製備自組裝奈 米結構於矽基材之研究 研究生：楊慶榮 指導教授：陳 智 教授 謝嘉民 博士 國立交通大學 材料科學與工程學系博士班 摘 要 本研究利用陽極氧化鋁薄膜作為模板輔助成長奈米碳管與氧化 鋅奈米柱之規則陣列並探討其電子場效發射性質。具有規則排列奈米 孔洞的陽極氧化鋁模板利用熱阻絲蒸鍍鋁膜之兩階段陽極氧化鋁處 理所得，本研究在陽極氧化鋁與矽基材間鍍上一層鎳薄膜當作成長碳 管的金屬觸媒，再以此為模板 進行以乙烯與氫氣為製程氣體的熱化學 氣相沉積法來合成奈米碳管，而奈米碳管將成長於陽極氧化鋁薄膜的 奈米孔洞內。奈米碳管的成長受到奈米孔洞的限制，而具有較佳的垂 直準直性。電子場效發射量測顯示以陽極氧化鋁輔助成長的奈米碳管 陣列具有優異的場發射性質，歸因於其均勻的尺寸分佈、較佳的準直 性等特性。此方式能有足夠的反應物產生高擴散率，不但促進碳氫反 應物的裂解也較容易蝕刻反應所產生之副產物非晶質碳。得到奈米碳 管成長之活化能為 0.55 eV 。我們相信利用高氫含量將有助於氣-液 - 固與固相擴散機制，也相對降低成長溫度。 I 高度規則排列的氧化鉭奈米點陣列可直接由鋁與氮化鉭薄膜之 陽極氧化鋁處理獲得。氮化鉭 薄膜之陽極氧化被侷限於首先形成之陽 極氧化鋁奈米孔洞內，因而得到奈米尺度的柱狀氧化鉭陣列。奈米點 之排列與形狀能直接的複製陽極氧化鋁模板之奈米孔洞，且奈米點之 尺寸可藉由調整陽極處理之參數準確的控制。 我們利用陽極氧化鋁模板與原子層化學氣相沉積在矽基材上製 備出高品質且自我組織之氧化鋅奈米柱 ，此方式不需要任何催化劑或 觸媒層並在低溫下。由光激發光圖譜結果發現在 480 nm位置具有一 個藍 /綠可見光。氧化鋅奈米柱場發射性質量測結果得到較低的起始 電場。如此優異之場發射性質 乃由於每根氧化鋅奈米柱皆垂直排列於 矽基材。此方式提供一個較佳的控制方法對於製作大尺寸面積自我排 列氧化鋅奈米柱，這將可以應用於許多重要的奈米技術上。 II Study of self- organized nano structure using anodic aluminum oxide on silicon substrates Graduated Student ：Ching-Jung Yang Advisor: Prof. Chih Chen Dr. Jia-Min Shieh Institute of Materials Science and Engineering National Chiao Tung University Abstract In this study, anodic aluminum oxide film was used as a template to grow carbon nanotubes (CNTs), Ta O nanodots and ZnO nanorod arrays. 2 5 AAO nanopore templates are obtained by Al film with a two-step anodization process. Between the AAO film and Si substrate, a N