气流质量传感器AWM3000 系列小流量放大 - 传感器专家网.PDF

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气流质量传感器 AWM3000 系列小流量放大 特点: ● 激光校整保证了一致的互换性 ● 测量流速可至1.0LPM 技术规格: ± 10.0 0.01VDC 系列是输出为 的气体质量流量传感器,图 、图 、图 AWM3000 1-5V 1 2 3 分别为传感器内部的发热器控制电路、双传感电路、差分放大电路 AWM3100V AWM3150V AWM3200V AWM3300V 流量范围( ) +1000sccm span +200sccm +30sccm 图 传感桥供电电路 压力范围(psi) 图 发热控制电路 2 1 (参照附录) ±2.0 ”水柱 输出电压 5VDC@ 3.4VDC@ 5VDC@ 5VDC @ 标定点 200sccm 25sccm 2 ”水柱 1000sccm 零点电压 1.00±0.05VDC 1.00±0.1VDC 1.00±0.08mV 1.00±0.1VDC 零点漂移 +25~-2 ˚C ±25mV ± 100mV ±25mV ±25mV +25

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