滑阀真空泵性能再探.pdf

第48 卷第4 期 真 空 VACUUM Vol. 48, No. 4 2011 年7 月 Jul. 2011 滑阀真空泵性能再探 许 涛，王琴斐，罗根松，祁显锋 （浙江真空设备集团有限公司，浙江 台州 318000） 摘 要：本文对滑阀真空泵的性能作了进一步研究，提出了活动密封的新概念，研究了排气速度、排气流道 大小和形状对泵的性能的影响，阐明了滑阀泵噪声机理研究中的又一个新噪声源———导轨对滑阀杆的撞 击，分析了泵的噪声传播和屏蔽，讨论了减少摩擦功的途径。 关键词：滑阀真空泵；性能；再探 中图分类号：TB752 + .2 文献标识码：B 文章编号：1002-0322 （2011）04-0033-05 Restudy on performance of rotary plunger vacuum pump XU Tao ，WANG Qin-fei ，LUO Gen-song ，QI Xian-feng (Zhejiang Vacuum Equipment Group Co.,Ltd ，Taizhou 318000 ，China) The performance of rotary plunger vacuum pump was restudied so as to propose a new concept of moving seal. Abstract ： The effects of the exhaust velocity and the size/shape of exhaust passage on the performance of pump were investigated. It was found that there is a new noise source for the rotary plunger vacuum pump, ie., the collision between guide rail and slide valve rod. With the noise propagation and its shielding discussed, the way to decrease friction work is analyzed. Key words ：rotary plunger vacuum pump ；performance ；restudy 经多年实践和研究，对滑阀真空泵的极限压 经与国外同类泵油在双级泵上做对比试验，用 力、抽气速率、消耗功率和噪声等主要性能有了 MKS 公司的薄膜真空计测得的真空度基本一致， 进一步认识，提出了一些新的看法和观点，如排 说明我国优质泵油的质量已达到国外同类泵油 气流道形状和排气速度、排气阀弹簧的压紧力和 的水平。而一级品和合格品则稍差一些，主要表 浮动阀片、导轨对滑阀的撞击、滑阀对泵内壁的 现在全压上有一定差距，而分压则无多大差别。 撞击、高低真空缸的间隙分配、高低真空缸之间 在使用质量上，据用户反映，国产泵油抗乳化能 的通道、以及进、排气管道等对泵性能的影响。至 力稍差，油水不易分离，所以在抽除含有水蒸气 于泵的振动与平衡因篇幅较长，拟另撰文论述。 的气体时，泵一定要开气镇阀。 1.2 动密封 1 真空度 通常指轴与油封之间的密封，首先是对轴上安 滑阀真空泵的真空度应该首先是满足用户 装油封处粗糙度的要求，要保证在0.4~0.8 μm，高 需要和保证稳定运行，通常用户很少在极限压力 速时取小值。轴与轴套