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2017-07-17 发布于河北
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胡晓辉传感器论文

SCIENCE CHINA Information Sciences . RESEARCH PAPER . December 2014, Vol. 57 120204:1–120204:6 Special Focus on Robot Sensing and Dexterous Operation doi: 10.1007/s11432-014-5191-8 A ﬂexible capacitive tactile sensor array with micro structure for robotic application 1 1 ∗ 1 1 1 HU XiaoHui , ZHANG Xu , LIU Ming , CHEN YuanFang , LI Peng , 1 2 ∗ 1 PEI WeiHua , ZHANG Chun CHEN HongDa 1Institute of Semiconductors, Academy of Sciences, Beijing 100083, China; 2Institute of Microelectronics, Tsinghua University, Beijing 100084, China Received July 13, 2014; accepted August 28, 2014; published online September 24, 2014 Abstract A ﬂexible capacitive tactile sensor array with micro needle structure is proposed in this paper for robotic application. Micro needle layer made of polydimethylsiloxane (PDMS) is sandwiched between the upper electrode layer made of PDMS and the bottom electrode layer fabricated on polyester (PET) ﬁlm. The PDMS material renders the device adequate ﬂexibility as it can be rolled into a cylinder. The single cell size in the fabricated 4 × 4 sensors array is 0.7 × 0.5 cm2 and the initial capacitance of each cell is 0.86 pF. The fabricated cell shows a sensitivity of 3.26%/mN within the full scale range of 1 kPa. The micro needle structure gives better repeatability and stability. The maxi