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iCAP6000系列光谱仪培训讲义 赵占良 2006-12-24 iCAP6000系列光谱仪结构及其原理 新型标准模块设计 iCAP6000系列光谱仪结构及其原理 标准样品导入系统 iCAP 炬箱和连锁保护 可选件 可选件 炬箱 iCAP 光学系统 – 前光路 双向光测 垂直观测 高效曲面镜 (凹面镜 凸面镜) 低失真 凸面镜(位于狭缝前) 用于掌控两个方向 选择观测方式 (双向观测时) 改变等离子体的观测高度 (垂直观 测时) iCAP 光学系统 高分辨率 7pm @ 200nm 高通量 低杂散光 缩短积分时间 提高分析速度 改善仪器检出限 稳定性好 恒温系统能控制 在 0.10C以内。 iCAP 光学系统 紧凑的光室设计 改善热稳定性 降低驱气流量 – 2L/m 提高真空紫外灵敏度 启动时自动进行光路校正和峰位准直。 观测高度可变 用户自己选择或者自动优化 iCAP 光学系统 平面光栅与中阶梯光栅 主要区别：光栅刻线不同 光栅方程： d(sinα±sinβ)=mλ (m=0 ±1 ±2) iCAP 光学系统 m1λ1=m2λ2=m3λ3=。。。。。。。 iCAP 光学系统 一维分光系统： 平面光栅+滤光片，得到线光谱 二维分光系统： 中阶梯光栅+石英棱镜，得到点光谱 iCAP 光学系统 闪耀角：工作面与光栅面之间的夹角? 光栅方程d(Sin?+Sin?)=mλ 在“自准”（?=?=?）时，λ=2d·Sin?/m 即闪耀波长 iCAP 光学系统 平面光栅 中阶梯光栅 光栅刻线： 2400条/mm 52.6条/mm 闪耀角： 8° 64° 根据光栅方程： mλ=2d·Sin? 波长范围： 165-1000nm 165-1000nm 可计算出光谱级次： 1级或2级 40-200级 CID-86检测器 CID-86检测器 CID-86检测器——优势 谱线选择灵活 适用于166-847nm 所有谱线 能够拍摄和保存全谱谱图 分析速度快 同时测定 实时背景校正 性能卓越 优良的分辨率 卓越的检出限和稳定性 气体控制系统 水循环 iCAP 点火问题 iCAP 点火问题 iCAP通讯故障——PC问题 iCAP通讯故障——仪器问题 * 服务科学，世界领先 3个精密铸造部件 光室 炬箱 底座 2) PCB板 PIC 处理器 开关电源 Camera CID86 检测器 Pentium 处理器 样品导入系统 3) RF 发生器 固态发生器 Gas Systems 标准压力调解阀或3个质子流量计 4) 仪器盖子 6 个注塑模块 数据工作站 iTEVA 软件 Service 软件 自动进样器 样品导入系统 附件控制板 I/O 板 8 位控制器 RF 发生器 气体控制 Camera 自动增益 快门 CID Detector Camera Pentium 266MHz 处理器 TSP 板 ASP 板 光室恒温系统 炬室传感器 废液传感器 水流传感器 水阀 高盐进样系统： 其设计用于分析含盐量高达20%的样品，与氩气加湿器连用，效果更佳。 有机进样系统： 用于分析诸如：二甲苯、煤油等不易挥发的有机样品。 易挥发有机进样系统： 雾化室内设计有隔板，用于分析易挥发的有机样品，诸如：酮、醇、醛等。需配备雾化室冷却附件。 耐氢氟酸进样系统： 采用刚玉中心管和惰性材料，可用于分析含有氢氟酸的样品。 iCAP – RF 发生器 全新固态发生器 无需更换昂贵的功率管 变频控制 改变频率用于匹配等离子体负载，使点火更容易。 快速响应，无复杂的匹配网络 27.12+/-1.0MHz。 效率78% 能够分析诸如甲醇等易挥发有机物。 功率输出范围 垂直观测750-1600w ,双向观测 750-1350w The Charge Injection Device 电荷注射器件 2-D检测器540X540=291,600独立的检测单元（PMT） 特点 每个检测单元 自动控制最佳暴光时间 反复读取，提高信噪比 Vinject Vinject Vintegrate Vintegrate Vtransfer Vinject Vintegrate Vinject Vintegrate Vinject Vintegrate Vinject Vintegrate Vtran