微尺度重掺杂硅光栅波长选择性吸收率的数值研究 - 中南大学学报.pdfVIP

第 42 卷第 12 期 中南大学学报(自然科学版)  Vol.42  No.12  2011 年 12 月  Journalof Central South University(Scienceand Technology)  Dec. 2011  微尺度重掺杂硅光栅波长选择性吸收率的数值研究 王爱华，蔡九菊  (东北大学 国家环境保护生态工业重点实验室，辽宁 沈阳，110819)  摘要：利用时域有限差分法对中红外波段微尺度重掺杂硅简易光栅和复杂光栅的光谱吸收率进行数值模拟，验证 重掺杂硅复杂光栅作为波长选择性吸收表面的可行性。计算结果表明：对于简易光栅，不同填充比条件下的光谱 吸收率曲线均存在峰值，其中填充比为 0.4 的吸收率峰值远高于填充比为 0.1 的峰值；随着光栅周期的增大，吸 收率峰值位置向长波长波段移动； 当掺杂浓度增加时， 吸收率峰值位置移向短波长