纳秒脉冲等离子体射流的产生及其特征研究.PDF

第 30 卷 第 2 期 核 聚 变 与 等 离 子 体 物 理 Vol.30, No.2 2 0 1 0 年 6 月 Nuclear Fusion and Plasma Physics June 2010 文章编号：0254-6086(2010)02-0173-05 纳秒脉冲等离子体射流的产生及其特征研究 朱海龙，任春生，吕晓桂，聂秋月，王德真，马腾才 (大连理工大学物理与光电工程学院，大连 116023) 摘 要：利用纳秒脉冲放电在单针、环状、以及单针加环状三种不同电极结构下产生了均匀稳定的等离子体 射流；通过光学和电学诊断研究了三种不同结构下等离子体射流的运行特性及相应的物理机制。实验结果表明， 以上三种等离子体射流的转动温度均为295K ，振动温度分别为 1900K，2000K和2100K ，都属于非平衡态等离子体； 其中，基于单针和环状电极的混合型射流可产生更为均匀稳定的等离子体，且富含较多的活性物种，有望在材料 表面处理及消毒灭菌等领域发挥一定作用。 关键词：纳秒脉冲；等离子体射流；发射光谱诊断；非平衡态等离子体 中图分类号：O539 文献标识码：A 1 引言 的光电诊断，测得其转动温度和振动温度分别为 大气压低温等离子体射流是近年来兴起的一 300K和2950K[6] ，可用于材料表面改性等相关应用。 种新的大气压类辉光等离子体发生技术，以其低温 加拿大麦吉尔大学的Valerie Leveille 以氧气和氦气 特点和良好的可控性在材料处理、消毒杀菌、处理 的混合气体为工作气体，采用一种脉冲调制射频功 有机废气等[1~4]应用领域表现出某些优势，并迅速 率源研究了大气压氦氧混合等离子体射流中氧原 成为目前国际上等离子体应用领域的研究热点。现 子的产生及放电过程中的反应机理，研究认为氧气 阶段研究的大气压低温等离子体射流多采用直流 和氦气的体积比率为0.3%时产生的活性氧原子浓 电源或交流电源为等离子发生器的功率源，可在常 度最大[7] 。在进行纳秒脉冲放电实验时，如何精确 压开放空气环境中获得均匀稳定的等离子体射流， 有效的测量间隙击穿时的电参量尤为关键，这是因 具有气体温度低、活性粒子浓度较高、连续工作时 为，当对电极施加纳秒级重复频率脉冲时产生的间 间长等特点。随着脉冲功率技术的发展，人们发现 隙性干扰噪声、间隙被击穿瞬态产生的持续高频振 纳秒脉冲气体放电可以产生的更多的活性粒子，放 荡噪声以及空间电磁辐射等，都会对信号的测量带 电产生的强电场可以使电子很快加速，而离子和中 来很大的干扰，致使测量的信号准确性下降[8] 。因 性粒子几乎没有被加速。因此，在提高等离子体中 此，本文中采用严格的屏蔽措施和降噪处理，测量 的活性粒子浓度的同时还可以有效控制宏观温度 到了施加电压和放电电流，并进一步进行光谱学诊 的增加。近年来，关于大气压脉冲低温等离子体射 断研究，对其产生的活性粒子进行了分析。以往研 流的研究引起了国内外研究学者的极大兴趣和广 究表明，等离子体的温度是表征等离子体射流状态 泛关注，英国拉夫堡大学的M·G·Kong小组以氦气为 和过程最重要的物理参数之一。简而言之，电子在 实验气体，对交流和纳秒脉冲等离子体射流进行了 等离子体电离和粒子间的碰撞过程中始终占据着 对比，结果表明，相比于交流等离子体射流，脉冲 主导地位，通过碰撞使原子或分子处于激发态，而 等离子体射流产生的活性粒子浓度更高[5] ；华