基于eM-Plant的虚拟晶圆制造自动组合装置.pdfVIP

第35卷第10期 计算机工程 2009年5月 2009 V01．35 No．10 ComputerEngineering May ·工程应用技术与实现· 文章编号-l∞o—34勰(20呻)lo__0232—_03文献标识码tA 中圈分类号：N945 李飞，伍乃娶 (广东工业大学机电工程学院，广州510006) 囊蔓：针对难以用解析法验证半导体加工装置的调度可行性问题，提出仿真建模研究的新方法。利用仿真软件eM-Plant建立晶圆制造中 单臂自动组合装置的参数化仿真模型，构建一个虚拟的晶圆制造系统。该系统为研究自动组合装置控制问题提供有效手段，是验证半导体 制造生产调度可行性的仿真平台。 关t司：晶圆制造；自动组合装置；仿真 VirtualCluster，11Dolin WaferFabricationBasedoneM．Plant LI Fei，WUNai．qi ofMe．harmonics (School Engint℃ring，GuangdongUniversityofTechnology,Guangzhou510006) wafer constraintsinclustertoolsfor controlcannotbe time semiconductor ofscheduleand [Abstract!Withresidency fabrication，feasibility checked newmethodbasedonsimulationis avirtual clustertoolforcontrolleris analytically．A presented，and developedbyusing single—alm testing eM-Plant．Itisa modelwhich aneffectivetoolforresearchersto thecontrol ofclustertools．andfor parameterizedprovides study problem engineers tocheck ofascheduleforthem． feasibility wafer [Keywordslfabrication；clustertool；simulation l概述 而第3道工序由PM4完成。 半导体制造属于资本、技术高度密集的产业，其制造过 程极其复杂，且生产过程有许多异于传统制造过程的工艺特 性…。半导体制造的集成设备把多组晶片加工模块和搬运模 块有效地组织为一体，得到了广泛的应用，自动组合装置是 其中的典型。学者们对该装置做了大量研究，但尚未获得有 效的调度算法。传统解析的方法很难求解这类问题。自动组 合装置投资巨大、运作成本高昂，仿真建模研究是解决此难 题的重要方法。现有的研究大多是对算法或模型本身进行仿 真，并未从模拟晶圆制造的角度加以研究。 本文以eM．Plant仿真软件为工具，建立了单臂自动组合 装置的仿真模型。利用3D模块实现了制造过程的动画仿真，