高可靠性声体波微波延迟线研究.pdfVIP

第30卷第4期 压 电 与 声 光 Vo1．3O NO．4 2008年8月 PIEZOELECTECTRICS AC0UST00PTICS Aug．2008 文章编号：1004—2474(2008)04—0385—02 高可靠性声体波微波延迟线研究 马晋毅，江洪敏，汤劲松，赵雪梅，杨 靖 (四川压电与声光技术研究所，重庆 400060) 摘 要：通过优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封封装等技术，研制出中心频率 f0— 4 300 MHz，一3 dB带宽af一。 ≥200 MHz，延迟时间At=0．358 pts的声体微波延迟线。通过试验验证，该产品具 有高可靠性和良好的环境适应性，取得了满意的实用效果。 关键词：声体波；延迟线；可靠性 中图分类号：TN65 文献标识码：A Study on Bulk Acoustic Wave Microwave Delay Line with High Reliability MA Jin—yi，JIANG Hong-min，TANG Jin—song，ZHAo Xue-mei，YANG Jing (Sichuan Institute of Piezoelectric and Acoustooptic Technology，Chongqing 400060，China) Abstract：A microwave bulk acoustic wave delay line with centre frequency fo一4 300 MHz，bandwidth af一3 dB ≥200 MHz，delay time At一0．358“s was developed by optimized transducer design，double sides Photolithogra— phy，supersonic wire bonding and fully hermetic package technologies．The device had high reliability and excellent adaptability validated by experimentations with satisfactorily practical effect． Key words：bulk acoustic wave；delay line；reliability 声体波(BAw)微波延迟线在微波频段具有损 在传声介质中传播，当声信号到达输出换能器时，再 耗低，体积小，质量轻，温度稳定性好和衰减稳定性 通过换能器中Zno薄膜的压电效应将声信号转变 好等优点，在雷达、高度表、目标模拟以及电子对抗 为电信号，并经输出匹配网络输出。由于声信号的 等军用电子系统中获得了广泛应用。本文作者通过 传播速度比电信号要慢10 量级，因此，可在较短的 优化换能器设计和采用双面光刻、超声键合和密封 声传播长度内得到较长的延时。 封装等工艺技术，制作出中心频率f0—4 300 MHz， 一 2 设计与工艺 3 dB带宽 af一3 dB≥200 MHz，延迟时间 At一 0．358肚s的BAw微波延迟线。通过可靠性试验验 根据项目要求，传声介质选用 轴石英，该材料 证，该产品具有高可靠性和良好的环境适应性。 声速为6 300 m／s，声阻抗为1．3×10。Pa·s／m。；换 1 BAW微波延迟线基本工作原理 能器采用ZnO厚度振动模式，ZnO的机电耦合系数 图1为BAW微波延迟线和薄膜换能器结构示