验收监测方案格式 - 苏州工业园区.doc

建设项目竣工环境保护验收 监测方案 项目名称：年产高密度互连积层板10万平方米软硬结合封装载板35万平方米 XXXXXX有限公司 编制单位： XXXXX检测技术有限公司 工业园区国土环保局制表 08月 编 制 单 位： XXXXX检测技术有限公司 法 定 代 表 人： XXX 项 目 负 责 人： （上岗证编号：负责人（） 1、项目工程概况 建设地址： XXX 总投资： XXXX 环保投资： XXXX 联系人 XXX 联系电话 XXXXX 投产(试运行)日期： XXXX 工作制度：两班制生产，年工作日为300天。年生产时间3750小时。 主要产品、产量： 高密度互连积层板1万平方米、软硬结合封装载板万平方米高密度互连积层板10万平方米、软硬结合封装载板35万平方米高密度互连积层板1万平方米、软硬结合封装载板万平方米 主要原辅材料名称、耗量： 原辅材料及消耗情况 名称 年用量（t/a） 名称 年用量（t/a） 干膜 730卷 双氧水 54000L 铜粉 9.125 液碱 984桶 添加剂 8.256 碳酸钠 9125L 硫酸 36000L 盐酸 1.2L 生产工艺原理、流程及产污环节： 1.1 生产工艺流程 该项目生产工艺总流程如下： 图1.1 项目生产工序总流程图 生产工艺流程具体介绍如下：（相同工序，将不再重复介绍） 来料 —— 项目来料主要包括刚性/挠性双面铜箔基材。 酸洗 —— 常温下，利用硫酸清洗基板表面残留的污物和氧化物。此工 序会产生硫酸雾、酸洗废液、酸洗废水。 微蚀 —— 利用硫酸、过硫酸钠作为微蚀剂，去除铜面的氧化物和有机 残物，加强铜的表面特性。此工序会产生硫酸雾、微蚀废液、微蚀废水。 压膜 ——根据产品性能需要，在铜箔基板的铜面上热压干膜，作为后续蚀刻工艺的抗蚀剂。此工序会产生有机废气、废干膜。 曝光 —— 将带有线路图案的底片置于抗蚀剂上，在紫外线照射下曝光， 利用紫外光透过底片上的透明部分使抗蚀剂硬化，硬化部分即为需要的线路 图案。此工序会产生废底片。 显影 —— 用碳酸钠溶液将曝光后未感光硬化的抗蚀剂溶解去除。此工 序会产生显影废液、显影废水。 1.2 产污环节（主要污染工序） 1.2.1 废水 项目运行后产生的废水主要有生产废水和生活污水。 根据项目产生废水的来源及水质情况，项目将废水分为：去膜显影废液、酸碱废液、有机废液、废水、去膜显影废水、含铜有机废水、一般含铜废水、废气洗涤水、冷却循环排水、以及生活污水等，生产废水165d/t，生活污水 16t/d。 生产废水产生的主要环节有：蚀刻废水W3研磨工序产生废水W 生活污水直接进入污水管网由园区污水处理厂处理。 1.2.2 废气 项目运行后产生的废气主要有工艺废气和燃烧烟气。 产生工艺废气的工序主要有：反应废气处理氨气G1光刻工序产生有机废气G清洗硫酸雾废气G酸性时产生废气G4ICP干蚀刻工序酸性废气G蚀刻工序产生氟化物废气G。 扩建工程在生产过程中排放的大气污染物主要包括生产工艺废气的粉尘、硫酸雾、氯化氢、NOx、甲醛、氰化氢、TVOC、以及燃气锅炉产生的SO2、烟尘、NOx。其废气种类与环节见表 1.2.2。 表 1.2.2 扩建项目工艺废气污染物产生环节一览表 序号 废气编号 污染物名称 产污环节 1 G1、G10、G19、G43 粉尘 裁切、磨边、钻孔、外形加工 2 G2-3、G6-9、G11-12、G15、 G11-18、G20-25、G28-29、 G31-35、G37-38、G48 硫酸雾、氟化物 表层处理、磨刷酸洗、镀铜 3 G5、G13-14、G27 氯化氢 酸性蚀刻、PTH 制程 4 G16 甲醛 PTH 制程 5 G44 NOx 剥挂架工序 6 G36、G40 氰化氢 镀镍 7 G4、G26、G30、G41-42 TVOC 防焊印刷、文字印刷 8 SO2、烟尘、NOx 锅炉燃烧排放 1.2.3 固体废物 光刻工序产生废有机溶剂WL1酸性清洗时产生废清洗液WL2剥光阻：工序剥离的光阻膜浸入水中产生少量废膜S1粘膜工序产生废膜S2倒膜工序产生废膜S3二次倒膜工序产生废膜S4。 固体废物的处理处置情况见表1.2.3。 表1.2.3 项目固体废物处理处置情况表 废物名称 产生量（吨/年） 类别 处理方案 擦拭布 依据实际定 HW12 委托有资质单位处理 废有机溶剂 HW42 废酸液 HW34 HW49 废水处理污泥 生活垃圾 委托园区环卫处处理 1.2.4 噪声 该项目主要噪声源主要有：生产设备、厂房外集气系统引风机等，通过隔音、减震等措施减少噪声对厂界的影响。 非重大变动情况，有则，无则 2、环保局批复要求