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第二十四届全国空间探测学术交流会论文 高性能三分量磁阻磁强计 葛丽丽 王劲东 （中国科学院空间科学与应用研究中心 北京 100190） 摘要：随着科学技术的发展，人们在磁场测量方面作了大量的工作，设计出了各种不同的磁 场传感器，并广泛的应用于磁场测量中。本论文的研究目的是利用 HMC1001 磁阻传感器研制 高性能三分量磁场传感器，推进磁阻磁强计在空间磁场探测任务中的应用。本文介绍的高性 能三分量磁阻磁强计体积小，重量轻，采用交流耦合+闭环的工作模式，能够有效的消除外 界强磁场的干扰以及磁阻传感器的历史影响，抑制温漂和非线形失真，提高传感器的灵敏度 和分辨率。测试结果表明，三分量磁阻磁强计在灵敏度，线性度，非线性失真等方面的性能 良好，达到了国际领先水平。 关键词：磁阻磁强计，磁阻传感器，HMC1001，闭环测量 1. 引言 在科技工作中，研究和测定磁场及其随时间变化的仪器、测定磁异常及研究磁性的仪 器、测定磁场强度的仪器等统称磁强计。目前磁场探测仪器主要包括磁通门、质子旋进、 光泵、霍尔效应、磁阻等原理的磁强计。其中磁阻磁强计的体积小，成本低，灵敏度高， 对弱磁场测量具有很高的可靠性，分辨率和准确度高，测量范围广。在探测磁场的大小、 方向以及在探矿、地下钻孔、位置检测、航海系统等方面得到了广泛的应用，国际上已有 国家将磁阻磁强计应用于空间磁场探测任务当中。本文利用 HMC1001 磁阻传感器设计高性 能三分量磁阻磁强计。文中详细介绍了三分量磁阻磁强计的设计和性能测试。 2. 系统设计与实现 单轴磁阻磁强计的研制已经完成，并通过测试。测试结果表明，单轴磁阻磁强计在灵 敏度，线性度，抑制温漂和非线性失真等方面的性能良好，达到了国际领先水平，并且体 积小重量轻。在实际应用中，对三分量磁阻磁强计的需求很大。系统的研制目标是在单轴 磁阻磁强计的研制基础上研制高性能三分量磁阻磁强计，推进磁阻磁强计在空间磁场探测 任务中的应用。所以，加快研制高性能的三分量磁阻磁强计是非常急迫的。 系统采用美国霍尼韦尔 Honeywell 公司生产的 HMC1001/2 一轴/二轴基本传感器芯片， HMC1001/2 传感器的工作原理是利用各向异性磁阻效应，磁阻传感器是以硅作为衬底，在 其上制作四个相同的铁镍合金带形成惠斯通电桥。当通电磁性薄膜置于外加磁场中时，薄 膜电阻将会发生变化。电桥供电电源驱动薄膜中的电流，当空间磁场为零时，四片薄膜电 阻均为 R ，当外界施加磁场时，薄膜的磁化状态发生变化，磁化方向顺着电流方向，相当 放置的两片薄膜的电阻减小，另外两片薄膜的磁化方向与电流方向相反，电阻增大。在线 性范围内，输出电压与被测磁场成正比。通过实验测试可知，HMC1002 两轴传感器的性能 比HMC1001 一轴传感器的性能差，所以选用三片 HMC1001 一轴传感器来实现。 1 第二十四届全国空间探测学术交流会论文 2.1 HMC1001 简介 HMC1001 有三个重要组成部分： 1）惠斯通电桥：由四个相同坡莫合金带形成的，被测磁场会引起电阻的变化，最终引 起输出电压的变化。 2 ）磁场偏置电流带(offset strap)：通过调整偏置电流带可以消除任何一个周围的磁场， 并可以使传感器工作在闭环模式下。 3 ）置位/复位电流带(S/R strap)：消除强磁场对磁阻传感器的历史影响，提高信号输出。 有效地消除温漂、非线形失真等影响，大大提高了磁阻式传感器的灵敏度。 HMC1001 封装尺寸大约为 11mm*7mm*1.5mm。 2.2 系统设计 本文所设计的磁阻磁强计的优势在于：采用交流耦合+ 闭环工作模式。交流耦合模式有 效的消除强磁场对磁阻传感器的历史影响和外界强磁场的干扰，提高灵敏度和线性度，并 可以有效的抑制温漂的影响。闭环工作模式能够稳定电路的工作状态和放大倍数，减小非 线性失真，扩展频带。具体实现如下： 1）利用 offset strap (磁场偏置