PECVD简单操作说明.PDFVIP

PECVD 简单操作说明 一、开各系统电源： 1、打开壁挂电控柜中PECVD 、scrubber 空开 2 、打开尾气处理的加热开关( 电流表示数上升，加热丝开始加热) 3、打开循环水电源、水泵开关、压缩机开关 4 、打开PECVD 电源开关，打开匹配器电源开关。 二、打开气路： 1、打开PECVD 气柜中的SiH 、N O、N 的手动阀 4 2 2 2 、打开气柜外的SiH 隔膜阀、N O 球阀 4 2 3、打开N O 钢瓶阀门，打开特气柜中的SiH 钢瓶阀门。 2 4 三、开腔过程： 1、打开手动放气阀充气 2 、待气体开始从腔体冒出或电阻规真空计稳定在9.9*104 Pa ，关闭手动充 气阀，再升盖 3、把样品放在对应托盘上，并将托盘固定在加热盘上 4 、降盖。 四、开机过程： 1、打开计算机 2 、打开PECVD 控制程序 3、打开VAT 蝶阀控制程序，点击local、open，使VAT 蝶阀全开 4 、打开机械泵 5、打开电磁隔断阀II 6、打开手动抽气阀 7、待真空抽到500 Pa 以下，开启罗茨泵 8、待真空抽至8 Pa 以下，关闭手动抽气阀 9、关闭罗茨泵 10、关闭电磁隔断阀II  1  11、打开电磁隔断阀I 12、启动分子泵，使分子泵开始升转 13、打开手动闸板阀 14、在计算机上设置加热温度到预设值，并点击”ready”开始加热 五、工艺流程： 1、待真空抽至9*10-4 Pa 以下，加热温度稳定后，打开射频电源预热，并调 节功率至30 W （每天的第一炉或腔室冷却了2 小时以上，加热稳定的时间需加 长，最好稳定半小时左右） 2 、关闭手动闸板 3、关闭电磁隔断阀I 4 、打开电磁隔断阀II 5、打开罗茨泵 6、点击电离真空计”手动”按钮关闭电离真空计 7、打开供气的手动截止阀 8、待电阻真空计显示 1.0E-1 或手动开启关闭一次N2 气路的电磁阀，使腔 室内的气压大于罗茨泵抽真空极限 9、打开手动抽气阀 10、调节scrubber 的CDA 流量计和N2 流量计分别至50 L/min、10 L/min， 打开scrubber 水循环系统电源 11、选择适合的工艺程序并运行 12、待工艺程序运行至通入SiH4 后将VAT 蝶阀位置调至所需值(一般为400) ， 使气压稳定在~130 Pa 13、待工艺程序运行至镀膜时间后，立即点击射频电源上的”ON”按钮开始 起辉 14、镀膜时间结束后立即点击射频电源的”OFF”按钮关闭射频起辉 15、点击VAT 蝶阀的”OPEN”按钮 16、等工艺程序运行结束后，关闭scrubber 水循环系统、关闭CDA、N2 流 量计 17、停止加热丝加热 18、关闭供气的手动截止阀，关闭手动抽气阀，关闭罗茨泵 19、打开手动放气阀充入N2 ，充至 6*104 Pa 后关闭放气阀，使样品在 N2 条件下冷却 o 20 、当温度稳定降至200 C 后，打开手动放气阀将腔室充至大气压后即可开  2  盖取样品 六、关机流程： -2 1、将腔室真空抽至1*10 Pa 以下，关闭手动闸板阀 2 、关闭分子泵，使其降转 3、待分子泵降转结束后，关闭电磁隔断阀I 和机械泵 4 、关闭计算机