series9 质谱、分子束、团簇用脉冲阀.pdf

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series9 质谱、分子束、团簇用脉冲阀

14 Series9 质谱、分子束、团簇用脉冲阀 s e v 高性能、超低泄漏率 l a V a 脉冲阀为真空法兰安装、轴向流路、2通常闭版本。结构采用耐腐蚀 i 材料,已经被证明的高性能,高重复性,高速度达160微秒。 操作压 d e 力达到85个大气压,速度达到120赫兹。 85 atmospheres and speeds m i t of 120 Hz。超声分子束气体脉冲可以到高重复性。 l u M e r u t 特点 a i n i • 超高速度达到 160 微秒 M • 传递高重复性脉冲,和高重复性速度为小容量气体控制。 • 无需压力或者真空的直动设计 • 坚固的不锈钢结构 • 室温下连续运行 物 电 理性能 气性能 阀类型: 功耗: 电压: 电流: 电阻: 法兰安装,轴向流路, (+5% @ 70°F) 2-通常闭 12瓦 20 VDC 594 ma 33 适用介质: 11.2 瓦 28 VDC 400 ma 70 液体或者气体 12 标准导线 操作温度: 4 到105°C (40 到 221°F) 尺寸: 与介质接触材料 性能 Coniguration and itting dependent Poppet 材料: 操作压力: (Contact factory for details) Series 9 24”Hg -1250 psig 重量: PTFE, PEEK, PCTFE, PI ® ® (0.004”, 0.020”, 0.031 oriice) 2.8 oz (9-181-900) (Vespel *), CTFE (Kel-F *) Two spare poppets ship with valve 24”Hg - 750 psig (0.039

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