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series9 质谱、分子束、团簇用脉冲阀
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Series9 质谱、分子束、团簇用脉冲阀
s
e
v 高性能、超低泄漏率
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a
V
a 脉冲阀为真空法兰安装、轴向流路、2通常闭版本。结构采用耐腐蚀
i 材料,已经被证明的高性能,高重复性,高速度达160微秒。 操作压
d
e 力达到85个大气压,速度达到120赫兹。 85 atmospheres and speeds
m
i
t of 120 Hz。超声分子束气体脉冲可以到高重复性。
l
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M
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r
u
t 特点
a
i
n
i • 超高速度达到 160 微秒
M
• 传递高重复性脉冲,和高重复性速度为小容量气体控制。
• 无需压力或者真空的直动设计
• 坚固的不锈钢结构
• 室温下连续运行
物 电
理性能 气性能
阀类型: 功耗: 电压: 电流: 电阻:
法兰安装,轴向流路, (+5% @ 70°F)
2-通常闭 12瓦 20 VDC 594 ma 33
适用介质: 11.2 瓦 28 VDC 400 ma 70
液体或者气体 12 标准导线
操作温度:
4 到105°C (40 到 221°F)
尺寸: 与介质接触材料 性能
Coniguration and itting dependent Poppet 材料: 操作压力:
(Contact factory for details) Series 9
24”Hg -1250 psig
重量: PTFE, PEEK, PCTFE, PI
® ® (0.004”, 0.020”, 0.031 oriice)
2.8 oz (9-181-900) (Vespel *), CTFE (Kel-F *)
Two spare poppets ship with valve 24”Hg - 750 psig (0.039
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