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现代的精密和超精密加工技术

21 3 Vol. 21 No. 3 2000 9 JOURNAL OF JILIN INSTITUTE OF TECHNOLOGY Sep. 2000 :2000) 0300200 1 2 1 骆红云, 张 闯, 张卫波 ( 1 , 130012; 2 , 130025) : , , ; : ; ; ; : TH16 : A 0 1 ( :m) , IT2 IT 1 IT0 IT1 IT2 ( 25 125 075 03 025 ) 07 03 02 012 006 , 125 063 038 025 013 [ 1] , 125 063 038 025 013 , ; 02 007 005 003 001 , 07 03 02 012 006 , , 125 063 038 025 013 , , 01m , 001m, , , 001 m , , , , 1980 , LLNL POMA , 1 800 mm 60 15 m 01m POMA 1977 , , , IT1IT2 1 001 m , [ 2] IT0 : : ( 1998055901) : (

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