新型差动电容式角位移传感器的分析.pdfVIP

摘要 摘 要 电容角位移传感器是一种将机械角度的变化转换为电容量变化并给出相应 电信号输出的测量装置，它具有非接触、高可靠性、灵敏度高、精度高和低功 耗、结构简单、适应恶劣环境如震动、超高温等优点，这使得它成为最具有发 展前途的传感器之一。 但电容角位移传感器也存在一些缺点和问题，如由于电场边缘效应而引入 输出特性的非线性以及寄生电容和分布电容对灵敏度和测量精度的影响等，需 要采取一定的补偿和校正措施。 基于电容式角位移传感器的智能金属管浮子流量计需要工作在较宽的温度 范Ⅲ内，工作环境对传感器的要求较高。论文本着发挥电容角位移传感器的优 点同时减小传感器的非线性和温度的影响的设计思想，利用有限元法对电容角 位移传感器的敏感元件电场边缘效应进行仿真，研究了产生边缘效应的主要因 素，提出了减小边缘效应的几种措施，并根据仿真结论，设计了两种差动结构 的电容角位移传感器。通过大量深入的温度实验和线性实验，证明设计所采取 的减小边缘效应和减小温漂的措施有效地改善了传感器的非线性和温漂问题， 差动电容角位移传感器的线性度误差小于5‰，温漂小于o．5‰／。c。由于差动 电容角位移传感器存在电路网络参数的不对称问题，本论文又设计了智能化差 动角位移传感器，利用单片机简化电路，消除了电路的不对称，传感器的稳定 性得到提高，传感器的精度也有所提高，线性度小于3‰，温漂小于O．4‰／。c。 关键词：差动，电容角位移传感器，智能化，电场边缘效应，线性度，温漂 ABTRACT the sensoristheinstrumentthatcancouvert angulardisplacement Capacitive intotheelectrical tothemechanical Itis capacitance signalaccording rotatingangle itsnon—contact most sensorsinfuturebecauseof as ofthe believedone hopeful measurement sensitivity,highaccuracy,power reliability,high measurement，good structureand abilitiesof harshenvironmental saving，compact good resisting suchas ambient conditions vibration，excessivetemperature． hasthe such However,theangular sensor disadvantages capacitivedisplacement the asthe caused capacitance non-linearityby electric—field-bending．parasitic the