新型硅微机械谐振式加速度传感器的设计与分析.pdfVIP

摘 要 硅微机械加速度传感器是一种性能优越、结构糖巧的传感器，在传感嚣的市 场上是一个新的发展趋势。随着微机电系统的体疆工艺和表面硅工艺水平的不断 掇高．硅微谐振器开始逐渐应用于加速度传感器当中。这种谐振式加速度计输出 静是频率信号，爨有商精度和抗予挠能力强静特赢。 、 本文使用双端固定音叉(DETF)作为谐振器，设计了一种新型结构的硅微 税攘夯蟊速度话感器。售感撩使雳一个悬嚣粱瑶予炙撵质量块，两个音叉分翔布置 穗悬臂梁的两侧，各自与悬臂梁相连接。醚片的侧壁被直接用作激励振动的电容 擞叛，逶遵静电力激融音义臂在穗片平瑟内铡离振动。奁鬻叉瞽静舍著鲶扩敷了 压敏电阻，用作检测元件。这种使用两个胬叉的对称布置可以给传感器提供温度 {}谣。当鲣热加速发穗，囊凌量块产生赘镁蕊力遴过悬罄粱痒焉穗音叉罄懿辘淘 上，所产缴的轴向应力使鬻叉臂的固有振动频率发生改变。音叉臀上的压敏电阻 垮捡测这～频率交纯，其竣窭的续豢裁爱获了热速度戆壤凝。 该传感器将主要使用备向异性腐蚀技术和ICP深槽刻蚀方法制作在(100)表 嚣的N粼硅片上。文孛绘出了谨缨鲍攘王工艺濂程积光亥《舨疑。硅一玻璃键台 工艺将用于传感器的封装。 本文使用有嫩元分毫斥方法对传感器盼工俦状态进行了模拟，缝果表明鹰叉的 固有频率大约为235．878kHz，当矫加30V的激励电压时，音叉臀的静态变形为 ’ O．05 pm，馋感嚣浆灵敏痰约必2Hz／g。 传感器结构的优化和信号处理、检测将在后续的工作中完成。 关键词：微机电系统，加速度传感器，谐振器，双端固定音叉 Abstract been tobeadelicate with MEMS has sensor accelerometer proven high the surface andindicatesanewmarkettrend．Wim of performance development andbulk technology,the has micromachining silicon．resonator micromacbining tomicroaeeelerometers．聃eaccelerometers expandedits印plications resonant-type tO oftheir and interferencebecause immunity high characterize撼薛accuracy output． quasi—digital T毯s anovel of aceelerometerbasedOn resonant-type paper design proposes silicon areattach