平板式ZrO2氧传感器叠压工艺的研究.pdfVIP

第 31卷第6期 武 汉 科 技 大 学 学 报 Voi．31，No．6 2008年 12月 JournalofWuhanUniversityofScienceandTechnology Dec．2008 平板式 ZrO2氧传感器叠压工艺的研究 吴丹丹 ，谢光远 ，黄海琴 ，李 毅，张天超，周俊兰，王 嫘 (武汉科技大学材料与冶金学院，湖北 武汉 ，430081) 摘要 ：采用叠成热压工艺制备平板式 ZrO2氧传感器 ，用正交试验法 比较基片的叠压压力 以及温度 、叠压时间 对片层之间结合紧密性的影响。结果表 明，对基片进行一定的溶剂润湿处理，叠压程序控制在 8O℃×300s， 压力为 0．2MPa时片层之 间结合最紧密 ，烧结之后基本无裂纹和翘 曲现象。 关键词 ：氧传感器；正交分析 ；叠成热压 中图分类号 ：TQ174．75 8．2 文献标志码 ：A 文章编号 ：1674—3644(2008)06～0583—04 平板式 ZrO 氧传感器是近年来氧传感器的 不到要求。基片表面的原子要离开原来的面进行 发展趋势_l1]，叠成热压是制作氧传感器 中的重要 移动和渗透 ，需要一定的能量。通过施压 、加温以 步骤 ，直接关系到氧传感器的气密性和在烧结过 及引入适量溶剂，都可以达到要求 。基材表面的 程 中是否产生翘曲。叠成热压一般由4个因素控 原子或颗粒一部分在材质之 中，受其他原子或颗 制 ：溶剂对基片的润湿 、热压压力、温度和保温时 粒的牵引作用 ，另一部分暴露在空气或其他介质 问l2]。．压力越大 ，温度越高 ，热压 时问越长，基片 中，具有一定的表面能。当受到外力作用，即施压 中溶剂含量越多，则基片之间结合性越好 ，结合也 和加温时，其表面能增加 。当表面能大于颗粒之 越紧密 ；反之基片不容易黏结到一起。但若压力 间的牵引力时，原子就离开原来 的面迁移和渗透。 过大，温度过高 ，时间过长 ，基片过于湿润，则容易 表面能越大 ，原子互渗就越明显 。如果材质 中含 把氧传感器的通气孔堵塞，且传感器片容易变形 有一定量的溶剂，则原子之间 由原子一原子之间的 损坏 。传统的叠压方法是在片层之间涂刷一层有 结合变为原子一溶剂之间的结合，此时原子或颗粒 利于黏结的层 间黏结剂，然后热压使其结合在一 之问的结合力减小 ，颗粒也越容易移动和互渗。 起 ，再经过脱黏烧结得到成 品。笔者根据氧传感 基于这个原理 ，对基片进行一定的干湿处理 ，采用 器特点，采用合理 的基片干湿处理工艺和叠成热 合理的叠成热压工艺，基片之间可以紧密结合、无 压工艺而不用层问黏结剂，可以使片层之间结合 裂纹 。 紧密 ，且通气孔大小合适 、基片无变形 ，烧结之后 1．2 试验方法 的成品可以满足使用要求。 准备 9套相同的YSZ流延基片 ，每一套包含 上、中、下 3片基片 ，尺寸为24mm×72mm，上面 1 试验原理和方法 印刷有 Pt浆导电膜层和 Al。O。绝缘膜层。中间 1．1 试验原理 片用溶剂浸泡 10S后晾干，准备叠压。采用叠成 本试验采用 3片材质相 同的 YSZ流延基 热压工艺把 3片基片叠压成为一个整体 ，用 自制 片 3j，在基片上印刷导 电膜层和绝缘膜层l4]，叠压 的测结合力装置测量片层之间的结合力 ，采用扫 在一起共烧结 ，要求片层之间结合紧密 ，烧结后无