碳纳米管在微机电系统(MEMS)中的应用研究 - 中北大学微米纳米技术.PDF

第 1 期 微细加工技术 №. 1 2004 年 3 月 MICROFABRICA TION TECHNOLO GY Mar. ,2004 ( ) 文章编号 :1003 8213 2004 01 0009 09 ( ) 碳纳米管在微机电系统 M EMS 中的应用研究 叶雄英 ,郭琳瑞 ,周兆英 (清华大学 精密仪器及机械学系 ,北京 100084) ( ) 摘要 :碳纳米管研究的不断发展为其与微机电系统 MEMS 的结合提供了可能 ,这种 结合“Top - down ”与“Bottomup ”的方法是微米/ 纳米技术的一个发展趋势。介绍了 碳纳米管的特性及其在 MEMS 上的潜在应用 ,综述了碳纳米管的制备方法以及与 MEMS 技术的兼容性 ,列举了目前一些碳纳米管与 MEMS 结合研究的典型 ,并对其 发展趋势进行了分析。 ( ) ( ) ( ) 关 　键 　词 :微机电系统 MEMS ;碳纳米管 Carbon Nanotubes ;纳机电系统 N EMS 中图分类号: TN304. 1 + 8 　　　文献标识码 :A 1 　引言 桥梁仍是一个研究难点。 自1991 年日本电子显微镜专家 Iijima ( ) [1 ] 微米/ 纳米技术研究的技术途径有两种 : 发现碳纳米管 Carbon Nanotube ,CN T 以 ( ) 来 ,碳纳米管以其独特的力学、电学、化学特 一种是“Topdown ”自上而下 ,采用传统的 微细加工方法 ,通过光刻和刻蚀等形成结构 性成为全世界纳米技术的研究热点。在信 或器件 , 并与电路集成构成系统 ; 另一种是 息、电子、生物、航空航天等领域有着巨大的 ( ) 应用前景。 “Bottomup ”自下而上 ,采用分子、原子组 ( 装技术 ,把具有特定理化性质的功能分子、原 微机电系统 Micro ElectroMechanical 子 ,借助分子、原子内的作用力 ,精细地组成 System ,MEMS) 是指利用可兼容集成电路加 纳米尺度的分子线、膜和其它结构 ,进而由纳 工技术批量制作的 , 集微型机构、微型传感 米结构与功能单元集成为系统。将“Top 器、微型执行器以及信号处理和控制电路等 down”方法与“Bottomup ”方法相结合 ,将实 于一体的微型器件或系统[2 ] 。 现纳米器件的高效制作 ,使微米/ 纳米技术实 MEMS 技术为碳纳米管的研究提供了 现跳跃式发展。目前 ,如何找到两种方法的 一个微米尺度的实验平台 ,反之将碳纳米管