联盟简报2017第2期 - 中国电子化工新材料产业联盟.PDF

电子化工新材料产业联盟 简 报 2017 年第2 期 电子化工新材料产业联盟秘书处编印 地址：北京市朝阳区胜古中路2 号院金基业大厦716 室 电话：01064498802 邮箱：cem@ 传真：010 联盟网站： 目 录 【行业要闻】 Global Foundries落子成都，中国再添一座12英寸晶圆厂 康宁在中国开设第二家LCD玻璃基板工厂 华星光电G11主厂房桩基工程和小栋号区域桩基工程基本完成 中芯国际天津西青产能扩充项目启动建设 【现行标准】 电子工业用气体 硒化氢 【工艺方法】 高性能聚酰亚胺薄膜制备方法 【产品专利】 一种高效光刻胶剥离液 一种掺杂石墨烯导电油墨 【产业观察】 2016年中国平板显示器件产业规模达1864.5亿，柔性显示将引领 平板显示器件产业发展 电子化工新材料产业联盟简报 【行业要闻】 Global Foundries 落子成都，中国再添一座12 英寸晶圆厂 2 月10 日，格芯(GLOBALFOUNDRIES)与成都市政府在成都高新区宣布合 作，正式启动12 英寸晶圆生产制造基地，投资规模累计超过100 亿美元。就此， 中国西南地区第一座12 英寸晶圆厂开建。 据了解，本次投资包括93 亿美元代工厂的投资，以及生态系统、基础设施 等，加起来总投资额超过100 亿美元。 “这将是中国最大的逻辑芯片代工厂，每年100 万晶圆产量，也将是格芯在 全球最大的工厂。”格芯首席执行官Sanjay Jha 表示。 根据不完全统计，我国目前有11 座12 英寸晶圆厂投产，包括SK 海力士的 2 座、华力微的1 座、联芯集成的1 座、三星电子的1 座、武汉新芯的1 座、英 特尔的1 座、中芯国际的4 座。 另外，新建的 12 英寸晶圆厂还有武汉新芯投资240 亿美元的存储器基地项 目、台积电南京的12 英寸厂、福建晋华12 英寸存储器集成电路生产线项目、中 芯国际北方新建的B3 厂、上海投资675 亿元的12 英寸晶圆产线、深圳的12 英 寸晶圆产线、上海华力微电子投资387 亿元的上海新12 英寸晶圆厂等。 引入22nm FD-SOI “成都的12 英寸晶圆生产基地未来月产能将达8.5 万片。”GlobalFoundries 新加坡运营部高级副总裁兼总经理KC Ang 说，一期将建设主流CMOS 工艺12 英寸晶圆生产线，主要工艺为0.18um/0.13um ，相关工艺技术主要从新加坡厂转 来，设备也将有一部分来自新加坡，预计于2018 年年底投产，月产能2 万片。 KC Ang 表示，0.13um 良率高、成本好，并且产能最紧张，可应用领域广，中国 客户都希望他们尽快在成都生产。 “现在市场上对于0.18um/0.13um 的需求还是非常大的。特别是一些电源和 RF 设计，很多还是在0.18um/0.13um 上。”Sanjay Jha 说。 二期将建设目前格芯最新的22FDX 22nm FD-SOI 工艺12 英寸晶圆生产线， 相关工艺将于2018 年下半年从德国德累斯顿工厂Fab1 进行技术转移，设备全新 采购，预计2019 年第四季度投产，月产能 6.5 万片。格芯将与成都一起建立生 2 电子化工新材料产业联盟简报 态系统，预计为成都引入较为完善的IPEDA 设计服务，以更好地支持22FDX 系 统。 Sanjay Jha 表示，一期和二期的投资比例大约为 1：9，格芯没有计划在成都 引入FinFET 工艺，而是要在22nm FD-SOI 的工艺上走下去。 目前，22nm FDX 已在德国德累斯顿工厂进行少量量产，该工厂已经开始新 一代12nm FDX 的技术研发。据了解，引入中国工厂的22nm FD-SOI 将主要应 用在中低端智能手机、物联网、RF 射频、汽车等方面，将先在德国厂进行工艺 验证，成都厂建好后，再直接把