用Si 光电二极管标定软X射线探测器 - 光学精密工程.PDF

第 12 卷 　第 1 期 光学 精密工程 Vol . 12 　No . 1 2004 年 2 月 　　 Optics and Precision Engineering 　　Jan . 2004 文章编号 　1004924X (2004) 用 Si 光电二极管标定软 X 射线探测器 曹继红 , 尼启良, 陈　波 ( 中国科学院 长春光学精密机械与物理研究所 , 吉林 长春 130033) 摘要 : 为了实现软 X 射线波段光源相对光谱分布的测量 , 引进了一种利用新型软 X 射线波段传递标准探测器 —Si 光电二 极管对软 X 射线探测器进行标定 。标定了软 X 射线波段光谱测量实验中常用的探测器 —通道电子倍增器在放大电压为 1. 3 kV 时的量子效率 , 并对实验结果进行了分析 , 得出在 8～30 nm 波段内探测器标定误差为 5. 7 %～8. 9 % 。 关 　键 　词 : 软 X 射线探测器 ; 软 X 射线 ; 硅光电二极管 ; 标定 ; 量子效率 中图分类号 : TN366 　　文献标识码 : A Calibration of soft Xray detector CAO Jihong , NI Qiliang , CHEN Bo ( Changchun Institute of Op tics , Fine Mechanics Physics , Chinese Academy of Sciences , Changchun 130033 , China) Abstract : In order to measure the relative spectrum distribution of soft Xray source , it is proposed to calibrate the channel electron multiplier (CEM) using a silicon transfer standard photodiode calibrated by NIST. The quantum effi ciency of the CEM has been determined using the calibration method proposed while CEM was biased to 1. 3 kV . The analysis of calibration results indicates that the calibration error of CEM is 11 %～17 % in the 8～30 nm region . Key words : soft Xray detector ; soft Xray ; silicon photodiode ; detector calibration ; quantum efficiency 射有不同的响应效率 , 未经标定的测量系统的测 1 　引　言 量结果不能反映光源光谱辐射的真实情形 , 所以 需要对单色仪、探测器在不同波段的响应效率进 　　实验室经常需要测量软 X 光源的绝对或相对 行标定 。标定软 X 射线探测器的传统方法是利用 光谱分布 , 并对其光谱特性进行研究。在过去的 同