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电镜的用途 微观形貌和结构 成分分析 光的衍射和光学显微镜分辨本领理论极限 光的衍射 结论： 埃利斑半径与照明光源波长成正。 光学显微镜分辨本领理论极限 分辨率的定义——设某成像装置所能区分开两点（或两条线）之间的最小距离为δ，则这一成像装置的最佳分辨率d 即为δ。 分辨率d 是衡量成像仪器的重要指标，也是各种因素的综合参数指征。 理论极限：照明光源的半波长。 电子透镜 静电透镜 磁透镜 电磁透镜的像差 （1）几何像差：由于透镜磁场几何缺陷引起 的，包括球差、像散和像畸变。 球差 产生机理； 影响； 像散 （2）色差 由于成像电子波长（或能量）变化引起电磁透镜焦距变化而产生的一种像差。 可以用消像散器适当地进行补偿。 像畸变 电子束与固体样品的相互作用 结论： 二次电子：SEM；表面形貌；图像分辨率好，能量低。 背散射电子：SEM；成分＋形貌；图像分辨率低，能量分布广。 透射电子：TEM。 特征X射线：EDS，WDS；成分分析。 俄歇电子：电子能谱；表面成分分析。 电子显微镜的基础知识 电子显微镜的分类 透射电子显微镜（TEM） ——以电子束照射样品，利用透过样品的电子束穿越电磁场透镜，形成放大影像。 扫描电子显微镜（SEM）——以电子探针（极细的电子束）在样品上做不停的轰击扫描运动，将反射回来的“二次电子”收集成像。