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1.8 压电晶体 压电晶体是MEMS最常用的非半导体之一。 Jacqueshe Pierre Curie在1880年就发现了压电效应。 当某些电介质（往往指绝缘体）晶体在外应力作用下，其表面上会产生电荷积累，这一现象叫做正压电效应； 反之，在电场作用下，晶体中产生应变（或应力）的现象称作反压电效应，我们把具有压电效应的晶体称为压电晶体。 合成晶体：罗舍耳盐，钛酸钡和锆钛酸钡（PZT）等。 自然晶体包括石英、电气石和硅酸酒石酸盐。 具有压电效应的晶体，其结构不存在对称中心。 应用：执行器和压力传感器即加速度计中的动态信号转换器。 1.8 压电晶体 V 机械力产生的电压 电压产生的机械变形 产生的机械变形 机械力 外加电压 压电晶体的机械能和电能的转换 1.8 压电晶体 机械能到电能的转换效率可通过机电转换系数K衡量，其定义如下： 下面简化的机电效应的数学关系可用于单向承载情况下压电换能器的设计： 应力产生的电场： V= f s （1.8-2） 其中，V是产生的电场（V/m）；s是所加应力（Pa帕斯卡），系数f为常数 电场产生的机械应变： e = d V (1.8-3) 其中，e 是产生的应变；V是所加电场（V/m）；d是晶体的压电系数。 （1.8-1） 压电晶体 系数d （10-12m/V） 机电转换系数K 石英（晶体SiO2） 2.3 0.1 钛酸钡（BaTiO3） 100~190 0.49 锆钛酸铅PZT 480 0.72 PbZrTiO6 250 PbNb2O6 80 罗舍耳盐 350 0.78 聚便氟乙烯PVDF 18 1.8 压电晶体 一些材料的压电系数 例题： 求采用PZT压电晶体驱动喷墨打印头喷出一滴液滴所需的电压。 液滴的分辨率为每英寸300点（dpi）。假定液滴的厚度为1mm， 假定液滴的形状为球形，且墨水池在喷射后总被重新充满。 打印头的形状和尺寸如图所示。 1.8 压电晶体 Calculate the output voltage when pull a drop of ink from ink jet heads using PZT materials. The ink drop resolution power is 300dpi. Suppose the thickness of the ink layer is 1mm, the ink drop is in ball shape, the ink tank will be full at any time, the parameter d of PZT is 48×10-12 m/V. F = 2000 mm V D 1mm 纸张 纸上的墨点 墨水滴： 球的直径 d 喷嘴直径 d 墨水池 10mm 压电致动器 聚四氟乙烯薄膜 1.8 压电晶体 解题思路 先求应变 e 先求压电变形 W 代入D值即可逆推出V值 解： 1.9 聚合物（1） ——作为工业材料的聚合物 重量轻； 工艺简单； 原材料和生产聚合物工艺的成本低； 耐腐蚀性高； 结构的韧性高； 形状稳定性高。 传统上，聚合物主要用于电子器件中的绝缘体、夹衬、 电容薄膜和集成电路中的冲模垫。 塑料是聚合物的特殊形式，已广泛用于机器和器件的零件。 下面是对聚合物用于工业材料的优点的总结： 1.9 聚合物（2） ——用于MEMS的聚合物 1. 光阻聚合物被用于生产掩模，通过光刻在衬底上产生所要的图形。 2. 同样的光阻聚合物在LIGA工艺中被用于制作具有MEMS器件几何形状的初模，以制造微器件部件。这些初模的表面用镍等金属覆盖以用于大批量微部件的后续注塑成型。 3. 导电聚合物可用于MEMS的有机衬底。 4. 铁电聚合物，其性质与压电晶体类似，可用于微器件中的执行源，如微泵。 5. Langmuir-Blodgett(LB)膜可用于制造多层微结构。 6. 具有独特性质的聚合物可用作毛细管的涂层物质，以加强微流体中的电渗作用。 7. 聚合物膜可用作微器件的电绝缘体和微电容器中的介电物质。 8. 聚合物广泛用于屏蔽微系统中的电磁干扰和射频干扰。 9. 聚合物是用于微传感器密封和微系统封装的理想材料。 1.9 聚合物（3） ——导电聚合物 对于某些在微电子和MEMS中应用的聚合物，必须是导电的并且具有优良的空间稳定性。 聚合物本来是电的不良导体，可通过下面三种方法变得导电： 1. 热解 基于邻苯二甲腈的焦化聚合物可通过加入胺并加热到600℃以上变得导电。 2. 掺杂 通