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集成电路对半导体材料的基本的要求 ★衬底必须是纯净的 ★单晶硅片 ★晶体的基本形态 单晶 多晶 非晶 ★综合指标要求 导电类型 N型或P型 集成电路的制造步骤 ★硅片制造 ★硅片制备 ★硅片测试/拣选 ★装配与封装 ★终测 ★硅片制备 在这一阶段,将硅从沙中提炼并纯化,经过特殊工艺生产适当直径的硅锭,然后将硅锭切割。 ★硅片制造 自硅片开始的微芯片制作是第二阶段,称为硅片制造。裸露的硅片到达 硅片制造厂,然后经过各种清洗、成膜、光刻、刻蚀和掺杂步骤,加工完的硅片具有永久刻蚀在硅片上的一套集成电路。 ★硅片测试/拣选 硅片制造完成后,硅片被送到测试和拣选区,在那里进行单个芯片的探测和电学测试,拣选出不合格的芯片。 ★装配与封装 硅片拣选和测试后,进入装配与封装,以便把单个芯片装在保护壳内。硅片的背面进行研磨以减少衬底的厚度,一片厚的塑料薄膜被贴在每个硅片的背面,然后,在正面沿着划片线用带金刚石的锯刃将每个硅片上的芯片分开。 ★终测 为确保芯片的功能,要对每一个被封装的集成电路进行测试,以满足制造商的电学和环境的特性参数。 人有了知识,就会具备各种分析能力, 明辨是非的能力。 所以我们要勤恳读书,广泛阅读, 古人说“书中自有黄金屋。 ”通过阅读科技书籍,我们能丰富知识, 培养逻辑思维能力; 通过阅读文学作品,我们能提高文学鉴赏水平, 培养文学情趣; 通过阅读报刊,我们能增长见识,扩大自己的知识面。 有许多书籍还能培养我们的道德情操, 给我们巨大的精神力量, 鼓舞我们前进。 * 半导体材料的基本特性 半导体的概念 从导电特性和电阻率来分: 超导体: 大于106(?cm)-1 导体: 106~104(?cm)-1,容易导电的物体。如:铁、铜等 绝缘体: 小于10-10?cm)-1,几乎不导电的物体。如:橡胶等 半导体: 104~10-10(?cm)-1 ,导电性能介于导体和绝缘体之 间的物体,在一定条件下可导电。 原子结构 由三种不同的粒子构成:中性中子和带正电的质子组成原子核,以及围绕原子核旋转的带负电核的电子,质子数与电子数相等呈现中性。 电子能级 原子级的能量单位是电子伏特,它代表一个电子从低电势处移动到高出1V的的电势处所获得的动能。 价电子层 原子最外部的电子层就是价电子层,对原子的化学和物理性质具有显著的影响,只有一个价电子的原子很容易失去这个电子,有7个价电子的原子容易得到一个电子,具有亲和力。 共价键 不同元素的原子共有价电子形成的粒子键,原子通过共有电子来使价层完全填充变得稳定。束缚电子同时受两个原子的约束,如果没有足够的能量,不易脱离轨道。 离子键 当价电子层电子从一种原子转移到另一种原子上时,就会形成离子键,不稳定的原子容易形成离子键。 半导体分类 本征半导体:几乎不含任何杂质的半导体。 自由电子 当导体处于热力学温度0?K时,导体中没有自由电子。当温度升高或受到光的照射时,价电子能量增高,有的价电子可以挣脱原子核的束缚,而参与导电,成为自由电子。 空穴 自由电子产生的同时,在其原来的共价键中就出现了一个空位,原子的电中性被破坏,呈现出正电性,人们常称呈现正电性的这个空位为空穴。 概念:掺入杂质的本征半导体称为杂质半导体。 N型半导体:在本征半导体中掺入五价杂质元素,例如磷,氮 自由电子—多数载流子(由两部分组成) 空穴——少数载流子 杂质半导体 P型半导体 在本征半导体中掺入三价杂质元素,如硼、镓、铟等形成了P型半导体,也称为空穴型半导体。 自由电子—少数载流子 空穴——多数载流子(由两部分组成) 能带结构 电子的共有化运动 ——满足能量最低原理 ——泡利不相容原理 能带结构的形成 两个原子靠近时,电子波函数将重叠。这时泡利不相容原理不允许一个量子态上有两个电子存在,于是一个能级将分裂为2个能级,N个原子靠近时,一个能级将分裂为N个相距很近的能级,形成能带 价带:被价电子填充的能带 导带:被自由电子填充的能带 禁带:导带底与价带顶之间能带 带隙:导带底与价带顶之间的能量差 能带的特点: 能带的宽窄由晶体的性质决定,与所含的原子数无关。 能量较高的能带比较宽,能量低的较窄。 每个能带中的能级数目与晶体中的原子数有关。 能带中能量不连续 常见半导体——硅 硅是一种元素半导体 ,4个价电子,正好位于优质导体和绝缘体之间。 选择硅的主要理由: 硅的丰富度 更高的熔化温度允许更宽的工艺容限 更高的工作温度范围 氧化硅的自然形成 半导体产业的发展 半导体产
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