20160911083628250-六方氮化硼，二硼化锆,二硼化钛.DOC

话说立方氮化硼 加入收藏　字号：大　中　小?【打印】 2011-08-30?来源：中国涂附磨具网磨料磨具??王光祖? 1、引言 以1957年美国GE公司的R.H.Wentorf采用超高压技术合成出立方氮化硼(CBN)为开端，20世纪60～70年代初，前苏联、德国、日本和英国也相继成功地合成出了CBN。郑州磨料磨具磨削研究所于1966年合成出中国第一颗CBN，从而拉开了中国CBN研究与工业化生产的序幕。 CBN除其硬度仅次于金刚石外，更为重要的是它还具有与金刚石不同的电、光、声、热与化学特性，正是这些不同的特性为其开发新的应用领域奠定了技术基础。而与磨料级CBN不同的纳米CBN与wBN和CBN膜除具有共同的基本特性外，它们都还有其自身的个性，正是其个性又为CBN开辟更新、更广阔的应用领域提供了可能。由此可见，针对CBN材料的制备技术研究及其应用技术的拓展研究工作是大有可为的。 从世界CBN市场发展来看，CBN的需求量每年以18%以上的速度增长。目前，世界CBN年产量约为5亿克拉，其中中国占了半壁河山，不仅在数量上，而且在质量上均具有很强的竞争力。令人欣慰的是我国CBN产品得到了国外主要生产厂家及知名CBN工具制造商的认可，性能已达到国际标准，形成了批量出口。 2、立方氮化硼研发过程及其重要意义 在对氮化硼的研究中发现，它的结构与石墨十分相近，作为碳的致密相存在着天然金刚石，并且用人工方法使质地柔软的碳成功地转变成了硬度最高的金刚石。是否可能像石墨转变成金刚石那样，使氮化硼也转化为致密相—闪锌矿型氮化硼即立方氮化硼或其它结构致密的氮化硼呢？1952年，Pease在研究氮化硼时曾指出，氮化硼的结构与石墨的结构相似，但稍有不同。氮化硼的一种六角相结构中，在由六角网格排列成晶体时，每隔一层产生半个六角网络的位移，实际上更有利于闪锌矿型氮化硼—立方氮化硼的形成。1953年Gardini总结了有关氮化硼的文献并试图制备立方氮化硼，但没有获得成功。 上个世纪50年代中期，由于高压科学的发展，在极端高温高压条件下合成材料的基本条件—高温高压装置已趋成熟。1955年，美国G.E公司人造金刚石研究小组的Hall用改进后的高温高压装置首次成功地合成了人造金刚石，开创了高温高压下合成新材料的新领域。人造金刚石的合成，对高压致密相氮化硼的问世起到了巨大的推动作用。 由于非致密相氮化硼与石墨结构相似的影响，开始时总是企图沿用合成金刚石用的触媒如镍、铁、钴等合成立方氮化硼，但均未获得成功。直到1957年，Wentorf采用金属镁为触媒，很容易地合成了具有立方结构的氮化硼(CBN)并命名为Borazon。1963年Bundy和Wentorf研究了六角氮化硼(hBN)到立方氮化硼的直接转化问题，指出在没有触媒参与下，在2000K时直接转化压力为115×105kPa。在高温区以立方氮化硼为主，在低温区可形成氮化硼的另一致密相---纤锌矿型氮化硼(wBN)。1972年，Devries和Fleicher研究了Li-BN体系的平衡问题，上述研究奠定了氮化硼相图的实验基础。 在静态高压法合成立方氮化硼的同时，也开展了动态高压法合成纤锌矿型氮化硼和立方氮化硼的研究并转为商品生产。1974年Sawaoka等人用爆炸法使六角氮化硼转化为纤锌矿型氮化硼以来，至今用动态高压法不仅可以合成wBN，而且也可以合成CBN，在转化率方面已高达90%。 立方氮化硼薄膜的生长研究是立方氮化硼发展的重要分支。1978年，Tadamasa报道了“多晶CBN膜”之后，在上个世纪80年代很快出现了等离子、分子流、双电子束、高频放电等多种制备CBN薄膜的方法[1～3]。 立方氮化硼（Cubic Boron Nitrde，简称CBN）是一种自然界不存在原生矿，只能由人工合成的无机晶体材料。立方氮化硼晶体具有仅次于金刚石的高硬度，是一种典型的在机械加工领域已得到广泛应用的超硬材料。而且，CBN晶体还是典型的III-V族化合物，其电阻率1010Ω.cm，热导率13W/(cm.K)，可以耐受1200℃高温，并且具有最宽6.4eV的直接带隙，是十分优异的热导、光电和半导体材料[1]，在高温高功率宽带器件微电子学领域有着广泛的应用前景。立方氮化硼闪锌矿结构，宏观对称性属于F43m-Td群，还能产生二阶线性光学效应，可以用作光的高次谐波发生器、电光调制器，可见-紫外光转换器、光学整流器、光参量放大器等。立方氮化硼与金刚石一样具有很强的抗幅射能力，可制备抗幅射器件。因此，立方氮化硼材料的制备、性能研究对国民经济各领域，特别是在航天、战争等严酷环境条件下应用器件的突破有着重要的现实意义。 3、国外立方氮化硼产品现状 国外的CBN磨料开发的较早，品种齐全，质量较高，其中以美国GE公司和英国的De Beers公司最具有代表性