AB2’3,技术的微注塑金属模具的工艺研究.pdfVIP

第! 期 微细加工技术 56 ! ##$ 年%# 月 ’()*+,-)’(,.’*/ .0(1/*2*34 *786 ，##$ 文章编号：%##:=%（##$ ）#!:##!%:#; 基于AB:2’3, 技术的微注塑金属模具的工艺研究 % % 杜立群 ，秦9 江 ，刘海军 ，刘9 冲 ，于同敏 （%6 大连理工大学 精密与特种加工教育部重点实验室，大连 %%$#; ； 6 大连理工大学 辽宁省微纳米技术及系统重点实验室，大连 %%$#; ） 介绍了一种新颖的微注塑模具的制作方法———无背板生长法，它是利用负性厚@A:= 光刻胶， 摘要： 通过低成本的AB:2’3, 表面微加工工艺，直接在金属基板上电铸镍图形而制作完成的。讨论了 @A:= 胶与基底的结合特性以及几种去除@A:= 胶的有效方法，所制作的微注塑模具已用于微注塑 加工中。无背板生长工艺的突出优点是微电铸时间短、模具质量高，而且还适合于制作其他微机 械组件，是目前0@ 领域中比较有发展前途的加工方法。 关9 键9 词：微电铸；AB:2’3, 工艺；@A:= 光刻胶；微注塑模具 ./#!9 9 9 文献标识码：, 中图分类号： 本文介绍了一种基于无背板生长法、简单、低成 ! 引言 本的微注塑模具的@A:= 胶 AB:2’3, 工艺制作技 术。无背板生长法是利用负性厚@A:= 光刻胶，通过 ［%］ 低成本的AB:2’3, 表面微加工工艺，直接在金属基 2’3, 技术是制作三维微结构的重要技术 ，是 光刻、电铸和模塑的组合技术，它使制作高精度、高 板上电铸镍图形来实现的。与背板生长法相比，由 深宽比的微结构成为可能，由2’3, 及其相关技术 于不需要电铸衬背，因此电铸时间大大缩短。同时 制作的产品正处于发展阶段。但由于受到C 射线 由于电铸层的面积小，使得铸层内应力的影响也较 光源的限制，以及加工过程中需要沉积大面积毫米 小，所制得的表面质量较高。 级的金属层作为衬背，属于背板生长工艺，因此微电 铸时间较长［ ］。而AB:2’3, 工艺在一定深宽比范 # 实验 围内的制造成本低廉，比2’3, 工艺具有更明显的 优势，目前已经成为制作三维微结构最有发展前途 基于无背板生长法的金属微模具制作的基本流 程如图% 所示，该工艺主要包括以下三步：@A:= 胶 的技术。利用AB:2’3, 技术制作微注塑模具的过 的紫外光刻、微镍电铸、 @A:= 胶的去除。 程就是将光刻胶通过光刻掩模在紫外线下曝光，从 #$ ! 材料与掩模 而得到光刻胶模，将该胶模作为电铸的芯模，进而得 光刻胶和显影液是G7HE7IJK (EHD6 公司提供 ［ ］ 到金属负拷贝，这就是模塑技术的塑料拷贝 。 的/,/*. @A:= #L! 光刻胶和@A:= 显影液。@A:= 0DEF @A