物理光学》第3章_光的干涉和干涉仪.ppt

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《物理光学》第3章_光的干涉和干涉仪

总结:干涉条纹分布的特点 (4)楔角愈小,干涉条纹分布就愈稀疏 (5)当用白光照射时,将看到由劈尖边缘逐渐分开的彩色直条纹。 (1)当有半波损失时,在 劈棱处为暗纹,否则为一亮纹; (2)干涉条纹是平行于棱边的直条纹 (3)相邻明(暗)纹间距: * 等厚条纹能够反映两个表面所夹的薄层厚度变化情况。因此可以利用等厚条纹的条纹形状、条纹数目、条纹移动以及条纹间距等特征,检验元件的表面质量,局部误差(表面光洁度),测量微小的角度、长度及其变化等。 1、测量薄片的厚度: 调节观察显微镜对准平行平板之间的楔形空气层,看到空气层的直线等距条纹,若测出条纹间距e,则可算出薄片的厚度: G1 F G2 D 三、 等厚条纹的应用 * 2、检验作为长度标准的端规: 端规是一个上下两面经过抛光的平行平面钢块。D1是待检规,D2是同一标定长度的标准规,检验时将两规紧贴在一钢质平台上,并将一块透明玻璃板G放在两规之上。 D * 第八节 用牛顿环测量透镜的曲率半径 在一块平面玻璃上,放置一个曲率半径R很大的平凸透镜,在透镜凸表面和玻璃板的平面之间形成一厚度由零逐渐增大的空气薄层。当以单色光垂直照明时,在空气层上形成一组以O为中心的中央疏边缘密的圆环条纹,称牛顿环。 一、牛顿环 * 1、计算透镜的曲率半径和条纹的特点 测量由中心向外计算第N个暗环 的半径为r: 由于R较h大的多,所以略去h2项,因此: 代入第N个暗环满足的光程差公式 二、测量原理和精度 * 以读数显微镜准确测量出第m个暗环的半径r,已知所用单色光波长λ,即可由上式计算出透镜的曲率半径R。 当存在半波损失时,牛顿环的中心,因为h=0,所以中心是一暗点;反之为一亮点。测量离中心较远的两个圆环的半径,来计算透镜的曲率半径。设第m1个暗环的半径为r1,第m2个暗环的半径为r2,则 条纹间距: * * * 在光学车间里,通常利用球径仪测出透镜的矢高h,再按关系式: 计算透镜的曲率半径,这时r是透镜口径之半。球径仪测量透镜的误差约为±1微米。 用牛顿环的方法测量透镜曲率半径的误差取决于以读数显微镜对准干涉条纹的对准误差,一般对准误差约为条纹间距的1/10,即Δm=0.1,对应的矢高误差为(设单色光波长λ=0.6微米) : 2、测量精度 * 1、被检元件表面与样板完全重合,条纹消失。 2、条纹是一些完整的同心圆环,表示元件没有局部误差;光圈数的多少,表征样板和元件表面曲率半径的偏差大小。 三、检验光学零件表面质量 牛顿环条纹除了被用来测量透镜的曲率半径外,还广泛地用来检验光学零件的表面质量。如图所示,这种条纹形成在样板表面和待检零件表面之间的空气层上,通常称为“光圈”。根据光圈的形状、数目以及用手加压后条纹的移动,可检验出元件的偏差。 * 设元件表面的曲率半径为R1,样板曲率半径 为R2,两者曲率之差为: 根据此式换算光圈数与曲率差之间的关系: 式中h为 两表面夹层的空气层的最大厚度,D为零件的直径。如果D内包含N个光圈(圆形条纹),则: * * 比较:等倾干涉条纹和牛顿环的异同点 同:1.均是一些同心圆环; 2.条纹间距随离开环中心距增大而减小,即中间疏边缘密。 异:1.干涉级: 牛顿环条纹干涉级由中心向外增大;等倾圆环干涉级中心向外减小。 2.中心条纹: 牛顿环中心总是暗(或亮)的;等倾圆环中心由对应的干涉级决定。 * 第九节 干涉仪及应用 一、平面干涉仪 1、结构 S S:单色光源; M M:透光玻璃片; L L:准直透镜; G1 G1:标准平板; G2 G2:待测平板; O O:探测仪。 楔形空气层 从标准板下表面和待测平板上表 面反射的光经透镜L和玻璃片M反射 会聚于透镜的焦平面O处。反射光形 成的干涉条纹定域于标准平板和待测平板之间的空气层表面。 * 2、测定平板表面的平面度及局部误差 如果标准平板和待测平板之间的楔形空气层形成的等厚干涉条纹是一组相互平行的等距直线,如右图所示,则表明待测平板是理想平面。 如果条纹弯曲表明待测平板表面不平,弯曲越程度大,表面的平面偏差越大。假设整个表面上观察到的条纹如下图所示,条纹弯曲的矢高为H,条纹间距为e,则待测平板的平面度为: 对应的平面偏差,即凹陷或凸起的厚度为: (一个H对应是半个波长) * 对于局部缺陷的情况,局部误差: 3、测量平行度及楔角 为了测量平行平板的平行度,应调节仪器使标准平面上反射光移出视场外,并在视场中观察待测平行平板上下两个表面产生的等厚干涉条纹。如果在直径为D的平行 平板上观察到的条纹数目为N,则最 大厚度差为: (n为平板折射率) * 二、

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