开发LSI工业环境的超净化控制系统.pdfVIP

开发 工业环境的超净化控制系统 · · LSI 3 1 !!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!!! 文章编号： （ ） 1000 - 8829 2003 04 - 0031 - 03 开发LSI 工业环境的超净化控制系统 Developing the Super-purification Control System of LSI Industry Environment （武汉大学 电子信息学院，湖北 武汉 430072 ） 孙夫雄，黄天戍，孙 涛，庞 辉 摘要：介绍了一种实现大规模集成电路（ ）无尘生产 响成品率的提高，因此，严格控制生产环境的洁净度对 LSI 环境的超净化控制系统，该系统的现场控制回路采用 的制造极为重要，早在 年代就针对 生产的 LSI 70 LSI 了先进的仿人工智能PID 控制算法，这种算法避免了 不同制造工序对环境洁净度的要求，制定了相应洁净 系统反馈滞后的振荡缺陷，利用 LonWorks 的网络技 等级的国际标准。传统的超净化控制方案，受技术条 术，实现整体净化系统的智能化、可视化控制。 件的限制，存在滞后时间长、波动频率高及整体控制性 关键词：超净化控制系统；大规模集成电路；仿人工智 能差等缺点，如今随着计算机技术、网络技术及智能控 能 控制； 现场总线技术； 制算法在工控领域的运用，控制系统的智能化、可视化 PID LonWork Lontaik 协议 和一体化是超净化控制系统发展的方向。 中图分类号： tP273 1 空气净化系统 文献标识码： B 净化系统包括空气处理系统和自动控制调节系统 Abstract :A kind of super-purification controi system which 两部分，前者是被控对象，后者是控制对象。两者的 can reaiize the high spotiess environment for LSI s manufac- 配置方案因不同的洁净等级而异，洁净度以悬浮尘埃 turing is introduced . the system uses human-simuiating PID 的浓度表示，洁净等级一般分为十级、百级、千级、万 inteiiigent controi aigorithm for iocai controi circuit which is 级、十万级和百万级。 an effective soiution to preventing the controiiing surge . More 空气处理系统的模型如图1 所示，按空气处理的 then, with the network technoiogy of LonWorks , it reaiizes 功能一般可分为两个阶段：空气预处理和末端精细处 理，图 中的中央空气处理器和过滤器属于空气预处 the inteiiigent and visuai controiiing o