大口径大曲率半径光学元件的高精度检测-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学 精密工程 １９ ６ 　 Ｖｏｌ．１９ Ｎｏ．６ 　 　 　　　　 　　　　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　 　　 　　　　 年 月 　 ｐ ｇ ｇ ２０１１ ６ Ｊｕｎ．２０１１ 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１１０６１２０７０６ 　 大口径大曲率半径光学元件的高精度检测 杨李茗，叶海仙 （成都精密光学工程研究中心，四川 成都 ６１００４１） 摘要：针对目前已有的光学检测设备无法实现大口径大曲率半径光学元件高精度检测的问题，提出利用长程轮廓仪 （ ）来进行大口径大曲率半径（正、负）光学元件的精确测量，并通过实验证明了 检测大曲率半径光学元件的优 ＬＴＰ ＬＴＰ 势。分析计算了ＬＴＰ测量曲率半径的算法精度，设计了合理的机械结构进行旋转测量，得到了全口径的曲率半径分布。 最后与球径仪、刀口仪的测量结果进行了对比。对 和 的球面镜测量结果显示， 的测量 犚＝３７．１０８ｍ 犚＝４１．０６５ｍ ＬＴＰ 重复性在 以内，与球径仪、刀口仪的测量值相差均在 以内。研究结果表明， 可以用来解决目前几十米 ０．０５％ ０．０５％ ＬＴＰ 的大 曲率半径光学元件难以高精度测量的难题。 犚 关 键 词：长程轮廓仪；曲率半径测量；算法精度；旋转测量 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＨ７４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ１２０７ 　　 　　 犎犻犺狉犲犮犻狊犻狅狀犿犲狋狉狅犾狅 犳狅狉狅狋犻犮犪犾犮狅犿 狅狀犲狀狋狊 犵 狆 犵狔 狆 狆 狑犻狋犺犾犪狉犲犪犲狉狋狌狉犲狊犪狀犱犾犪狉犲狉犪犱犻犻狅犳犮狌狉狏犪狋狌狉犲 犵 狆 犵  ， ＹＡＮＧＬｉｍｉｎ ＹＥＨａｉｘｉａｎ ｇ （ ， ， ） 犆犺犲狀犱狌犉犻狀犲犗 狋犻犮犪犾犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犚犲狊犲犪狉犮犺犆犲狀狋犲狉 犆犺犲狀犱狌６１００４１ 犆犺犻狀犪 犵 狆 犵 犵