钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响_穆健刚.pdfVIP

网络出版时间：2014-10-09 14:50 网络出版地址：/kcms/detail/61.1133.TG1450.042.html 热加工工艺曳 2014 年9 月第43 卷第 18 期 钛铝靶材的相结构对涂层的结构和性能的影响 1,2 2 2 2 1 穆健刚 , 梁俊才 , 张凤戈 , 王铁军 , 赵栋梁 (1. 钢铁研究总院, 北京100081; 2. 安泰科技股份有限公司, 北京 100081) 摘 要 研究了完全合金化和完全未合金化钛铝靶材的结构袁并研究了采用磁控溅射法袁通氮 与不通氮 条件下 沉积涂层的成分 结构和性能袁探讨了不同相结构钛铝靶材与其沉积涂层在成分 结构和性能之间的关系遥 关键词 靶材曰涂层曰磁控溅射