台科技大学99 学年度第二学期质能均衡分组讨论.docVIP

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台科技大年度第期分西子式多晶矽程主要程主要化合物的史的介目算成果姓名意冠廷然翻目很多但是用懂了感有一成就感李紫好真薛立成分很重要以後如果有要做告早基合作的感真好胡祥彬合作的感真棒西子式多晶矽程本一探目西子式多晶矽程主要程已蒸化之三化矽置於一化相沈反中原反而析出矽於中上西子式多晶矽程的用及用途多晶矽西子程目前量出的多晶矽主要用於半及太光用因西子程所出的多晶矽度不但度要求高的半用就要求那高的太光也因自己的料源系而半太光成快速所以有很多多晶矽程不有投入者投入但目前多晶矽度和出品控制均度最好的仍是西子法

台科技大學 99 學年度第學期分組討論 討論議題 西門子式多晶矽製程主要製程 主要化合物Si的歷史 CVD的介紹 題目計算 討論成果 組員姓名 意見 葉冠廷 雖然翻譯題目很多專業術語,但是用懂了感覺有一種成就感。 李紫嫻 組長好認真。 薛立成 分組討論很重要,以後如果還有要做報告,會盡早討論。 劉基偉 團隊合作的感覺真好。 胡祥彬 團隊合作的感覺真棒。 西門子式多晶矽製程 本組結論:一.探討題目 討論西門子式多晶矽製程主要製程 將已蒸餾純化之三綠化矽置於一化學氣相沈積(Chemical Vapor Deposition, CVD)反應爐中,與氫氣還原反應而析出純矽於爐中電極

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