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基于声发射信号检测的光学元件表面加工质量监控研究胡陈林毕果林桂丹孙郅佶叶卉吴沿鹏建厦门厦门大学物理与机电工程学院福摘要基于声发射检测技术通过研究磨削光学元件产生的声发射信号的频谱特征研究其与表面粗糙度之间的关系从而提出一种光学元件表面质量的判断方法即一定范围内光学元件表面质量随着声发射信号能量的增大而降低由此获得一种快速实时便捷和安全的光学元件表面加工质量的检测方法可用于光学元件表面加工质量的在线生产监控关键词声发射表面粗糙度频谱分析表面检测中图分类号文献标识码声发射检测技术是近年来新兴的一种测
基于声发射信号检测的光学元件表面加工质量监控研究
胡陈林 毕 果 林桂丹 孙郅佶 叶 卉 吴沿鹏
( , 建厦门361005)
厦门大学物理与机电工程学院 福
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摘 要 基于声发
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