新型傅里叶变换光谱仪信号采集系统光学设计及仿真 - 光子学报.pdf

第 卷 增刊 光 子 学 报 ４３ 　 　 　 　 Ｖｏｌ．４３Ｓｕ．１ ｐ 年 月 　　　　　　　　　　　　 ２０１４ ７ ＡＣＴＡＰＨＯＴＯＮＩＣＡＳＩＮＩＣＡ Ｊｕｌ２０１４ ｙ ： ／ 犱狅犻１０．３７８８ ｚｘｂ２０１４４３ｓ１．０１２２００３ ｇ 新型傅里叶变换光谱仪 信号采集系统光学设计及仿真 杨艺宁，朱永，陈建君，李阳，刘宇，王宁 （重庆大学 光电工程学院，重庆 ４０００４４） 摘 要：将基于微光机电系统的微镜阵列与倾斜反射镜相结合，构建应用于中红外波段的微型化便携式 　 傅里叶变换光谱仪 在阐述了该光谱仪工作原理的基础上，通过对微镜衍射特性分析，提出了信号采集 ． 系统光路设计要求，并结合 ＺＥＭＡＸ软件进行了光学设计与仿真，结果表明：在 ２．５ ３．５ ｍ波长范围 ～ μ 内，保证微镜选通列与非选通列间反射光互不干扰的情况下，本文所设计的信号采集系统可将 ８０％以 上的干涉信号会聚到 ５ｍｍ×５ｍｍ的单点探测器中． 关键词：微光机电系统；中红外；傅里叶变换；光学设计 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） ＴＨ７４４．１ Ａ １００４１０１２２００３４ 　　 　　 犗 狋犻犮犪犾犇犲狊犻狀犪狀犱犛犻犿狌犾犪狋犻狅狀犻狀犛犻狀犪犾犃犮狌犻狊犻狋犻狅狀犛狊狋犲犿狅犳 狆 犵 犵 狇 狔 犪犖狅狏犲犾犉狅狌狉犻犲狉犜狉犪狀狊犳狅狉犿犛犲犮狋狉狅犿犲狋犲狉 狆 ， ， ， ， ， ＹＡＮＧＹｉｎｉｎ ＺＨＵＹｏｎ ＣＨＥＮＪｉａｎｕｎＬＩＹａｎ ＬＩＵＹｕＷＡＮＧＮｉｎ ｇ ｇ ｊ ｇ ｇ （ ， ， ， ） 犆狅犾犾犲犲狅 犗 狋狅犲犾犲犮狋狉狅狀犻犮犈狀犻狀犲犲狉犻狀 犆犺狅狀 犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 犆犺狅狀 犻狀 ４０００４４犆犺犻狀犪 犵 犳 狆 犵 犵 犵狇 犵 狔 犵狇 犵 ： ， 犃犫狊狋狉犪犮狋Ｃｏｍｂｉｎｉｎ ｍｉｃｒｏｍｉｒｒｏｒｂａｓｅｄｏｎｍｉｃｒｏｏｔｏｅｌｅｃｔｒｏｍｅｃｈａｎｉｃ