超精密加工的三维表面形貌预测 - polyu ira.pdf

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2017-09-02 发布于天津
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超精密加工的三维表面形貌预测 - polyu ira

—— 　　 : 1004- 132Ⅹ ( 2000) 08- 0845- 04 李荣彬　张志辉　李建广　　　　: 描述并建立了仿真超精密加工的三维表面形貌模型。三维表面形貌模型由切参数、刀具几何形状及刀具与工件的相对运动来表征,通过将预测的表面粗糙度轮廓线性映射到网格面元上来生成已加工表面的形貌。实际的加工和测量实验表明,仿真的三维表面形貌和由激光干涉形貌仪测量得到的三维形貌具有很好的相似性。该模型可用来确定如刀具切运动的迹线、表面波度等表面特征。　 : ;;; : T H161. 1　　　: A 　　、 ;, , ; 。, , 。, , 、, ,, 0. 015( 30 nm / 2000 nm) ,, 。。 , , [1] 。 ( 1)。 [2, 3] , , [4 ] ,, , 。 1　三维表面形貌模型、— [5, 6 ] [7 ] 。 Takasu , , 。 ,, 1　 ,— 、; , , 。 : 2000— 05— 30 : , · 845· 11 8 2000 8 ,, : [7 ] θ( i ,k ) = kΔθ+ 2π( i - 1)　　i = 1, 2,… ,N ( 9) 、 , t r (i , k ) = R - [k + (i - 1)N ]ΔR ( 10) 。 t 0 p Z (i ,k ) = A sin{C [k + ( i - 1)N ] - h} ( 11) — f z t p p , C = 2πf Δθ/k。 n p z