剖析tecnai_f30场发射透射电镜操作规程.pptVIP

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剖析tecnai_f30场发射透射电镜操作规程

注意事项 阀门打开之后,就可以在投影室视窗中看到光斑。 如果没有看到光斑,可以按顺序进行如下操作找到光斑: 将放大倍数(Magnification)缩小至5200x。 将光路(Intensity)发散。 移动样品。 若仍没有找到样品,请及时联系管理员。 * 十一、设置共心高度 移动轨迹球找到样品观察区域。 在10kx以上的放大倍数下。 按操作面板上Eucentric Focus按钮。 调Z-axis使影象聚焦到衬度最小(一般情况此操作使Z轴数值为负值)。 * 十二、调节聚光镜像散 用Intensity调节光强度。 若发现光斑不是同心收缩(即光斑不圆),则需要调节聚光镜像散。 在CCD的Stigmator菜单中激活Condenser按钮,使之变为黄色。 用多功能键(MF)将光斑调圆。 最后点击None确定。 * 十三、形貌观察及照片获得 用轨迹球选择样品感兴趣的区域。 用Magnification旋钮选择合适的放大倍数,并将光发散至满屏。 用Focus按钮选择合适的步长。 粗调至样品衬度最小。 按L1或者镜筒左边按钮,将大荧光屏抬起。 点击search进行图像扫描 调焦距,细调至最佳聚焦值 点击Acquire进行拍照 保存图片 * * 注意事项 用轨迹球找样品时,若听到报警声,同时屏幕显示Out of Range,表明样品处于边界位置,需往相反方向移动。 由于高分辨像对样品的稳定性要求较高,所以若需要拍摄高分辨像需要让样品稳定,一般需要稳定半个小时以上。 在search中的stage可以添加当前位置坐标,并能够随时调用。 由于这种定位功能的偏差在几百个纳米,因此,这种方法不适合在太高倍数下使用。 若样品的位置处于边界,请不要存储和调用,因为这有可能使样品在移动的过程中卡住,具有一定的危险性。 * Focus和Focus Step focus钮包含两个旋钮,下面的旋钮控制focus step,focus step的数值小为细调,大为粗调。一般形貌拍摄选择step 2为细调,step 3为粗调。该数值能够在软件的正下方观察到。 focus钮上面的旋钮控制Defocus,顺时针旋转旋钮,Defocus值增大,逆时针Defocus值减小。 Defocus值增大,图像趋于过焦(样品边缘产生黑边);减小,图像趋于欠焦(样品边缘产生亮边)。 最佳聚焦点:图像略微欠焦。 * 十四、调节物镜像散 拍摄高分辨像时,需要调节物镜像散。 在样品的附近选择一块非晶区域 在process中选择live FFT 点击CCD-Stigmator中的Objective按钮 利用多功能旋钮将FFT中的图形调圆。 * 十五、能谱分析EDX 在快速启动栏中,先后打开ESVision.exe和RTEM程序 确定物镜光栏已经退出 在RTEM Control界面中点IN,此时EDX探头将会伸入。 在主程序中选择EDX菜单,点击view,进行谱峰浏览。 判断EDX各项指数正常,谱图中需要的元素能够出现谱峰。 一切正常,则可点击Acquire开始做能谱分析。再次点击Acquire停止分析。 * 注意事项 counts/s值最好大于800。 Dead time的数值不能为红色,若为红色,表明光太强,需要将光斑发散,或者将spot size变小。 * 十六、EDX软件分析 点击软件右下方的图标,进入能谱分析界面。 在View中调出元素周期表选择需要分析的元素。 点击Quantify进行定量分析。 数据保存 点击谱图,选择File-Save As 保存原始数据为emi格式 右击谱图,选择Export 输出格式为tif或bmp的图片。 点击数据分析结果,选择File-Save As 保存数据分析结果为txt格式。 * 十七、关闭阀门 实验完毕,先将放大倍数缩小至5200X,并将光发散。 关闭阀门:点击Col. Valves Closed 按钮,按钮由灰变黄。此时Status显示COL. VALVES。 若发现异常情况,应先关闭阀门。 * 十八、样品杆归零(Holder) 点击search 在stage2中点击右拉菜单 选择control 点击Holder可进行样品杆归零。 此时stage2中的蓝色十字位于圆盘中心位置。 * 注意事项 Holder必须在阀门关闭后才能进行。 操作前必须确定A、B值为零。 操作后必须确定X、Y、Z、A、B为零。 若Holder前,样品位置(蓝色十字)的位置超出圆盘,请先用轨迹球将十字移进圆盘再进行Holder。 Holder完成后,若发现样品台的红灯是亮的,则需要在点击一次Holder。 * 十九、从镜筒中取出样品杆 在确认阀门已经关闭,样品台已经归零之后,可以拔出样品杆。 若发现样品台的红灯亮起,不能拔样品杆。 顺着轴向外拔出样品杆到有阻力为止(注意力度

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