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ENERGY SOLAR 多晶硅工艺线路比较 ■屈平白木周洁 1改良西门子法 艺技术，较适合生产价廉的太阳能级多晶硅，目前 改良西门子法是先用氯和氢合成氯化氢(或外购 世界上只有美国MEMC公司采用此法生产粒状多 氯化氢)，氯化氢和工业硅粉在一定的温度下合成三 晶硅。 氯氢硅，再对三氯氢硅进行分离精馏提纯，提纯后 3冶金法 的三氯氢硅在氢还原炉内进行CVD反应生成高纯多 日本川崎制铁公司采用冶金法制得的多晶硅已 晶硅。国内外现有的多晶硅厂绝大部分采用此法生 在世界上最大的太阳电池厂(SHARP公司)应用，现 产电子级与太阳能级多晶硅。 已形成800吨／年的生产能力，全量供给SHARP公 2流化床法 司。冶金法的主要工艺是选择纯度好的工业硅(即冶 流化床法是以四氯化硅、氢气、氯化氢和工业 金硅)进行水平区熔单向凝固成硅锭，去除硅锭中金 硅为原料在流化床内(沸腾床)高温高压下生成三氯 属杂质聚集的部分和外表部分后，进行粗粉碎与清 氢硅，将三氯氢硅进一步歧化加氢反应生成二氯二 洗，在等离子体融解炉中去除硼杂质，再进行第二 氢硅，继而生成硅烷气，制得的硅烷气通入加有小 次水平区熔单向凝固成硅锭，去除第二次区熔硅锭 颗粒硅粉的流化床反应炉内进行连续热分解反应， 中金属杂质聚集的部分和外表部分，经粗粉碎与清 生成粒状多晶硅产品。由于在流化床反应炉内参与 洗后，在电子束融解炉中去除磷碳杂质，直接生成 反应的硅表面积大，生产效率高、电耗小、成本低， 太阳能级多晶硅。 适用于大规模生产太阳能级多晶硅。缺点是安全性 4气液沉积法 差、产品纯度不高，但基本能满足太阳电池生产的 气液沉积法以日本Tokuyama公司为代表，目 使用。此法是美国联合碳化合物公司早年研究的工 前10吨试验线正在运行，200吨半商业化规(转2l页) (接上页)并且具备其他采暖方式所不具备的全新风采 六其他应用 暖方式，可以有效地预防各种呼吸道疾病的传播，真 目前市场上的商用干燥设备主要以燃油、燃气、 正起到健康呼吸每一口空气的效果，为人们的身体 木料或蒸汽作为热源。这些热源往往将空气加热至 健康和居家舒适提供有力的保障。 一个过高的温度，实际上效率却比较低，很多热量都 3可移动式太阳能干燥机 白白损失掉了。有些干燥设备甚至需要将加热后的 可移动 空气再调整到60℃以下以适应干燥工艺要求，这时 式太阳能干 太阳墙干燥技术就会显示出巨大的优势，可以将浪 燥机(图13) 费的热量降至最低，同时提高整个干燥设备的效率。 能广泛应用 太阳墙技术也可在农村地区的建筑采暖通风领 于农产品和 域大显身手，太阳墙农用房既能在冬季供暖又能提 食品干燥领 供干燥加工能力。太阳墙系统还可用于畜禽圈舍的 域。这种可移 采暖通风。太阳墙在农村大棚中通过土层蓄热系统， 动式的小型 可将白天多余的太阳能蓄积到夜间使用，大幅度降 图13可移动式太阳能干燥机 设备，具有微