基于溶液法的金属诱导碟型晶畴多晶硅薄膜和薄膜晶体管的研究.pdfVIP

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2017-07-25 发布于天津
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基于溶液法的金属诱导碟型晶畴多晶硅薄膜和薄膜晶体管的研究.pdf

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基于溶液法的金属诱导碟型晶畴多晶硅薄膜和薄膜晶体管的研究.pdf

第 24卷第 6期液晶与显示 Vo1．24．No．6 20O9年 12月 ChineseJournalofLiquidCrystalsandDisplays Dec．，2009 ArticleID：1007—2780(2009)06—0812-06 InvestigationofDisk—LikeDomainPo1ycrystalline SiliconFilmsandThin—Film TransistorsUsing Solution—BasedM etalInducedCrystallization ZHAO Shu—yun ，M ENG Zhi—guo”， WU Chun—ya ，W ONG M an ，KW OK Hoi—sing (1．DepartmentofElectronicandComputerEngineering，HongKongUniversityofScienceandTechnology，HongKong，China 2．InstituteofOpto—Electronics，NankaiUniversity，Tianjin 300071，China) Abstract：Po1ycrysta1line silicon (poly-Si) filmsconsistingofsuper-largedisk—likedomains wereobtainedwithsolution-basedmetal—inducedcrystallization (SMIC)ofamorphoussilicon． Theprepared disk-likedomain SMIC poly-Sihasan averagedomain sizeofup to 50 gm ， highestholeHallmobilityof30．8am ／V ·s，andhighestelectronHallmobilityof45．6 cm ／V ·s．P-typepoly-SiTFT basedondisk—likedomainSMIC poly-Sihashighfieldeffect mobilityof70~80cm ／V一 ·s_。，sub-thresholdslopeof1．5V／decade，on／offstatecurrent ratioof1．01×10 andthresholdvoltageof一8．3V Also，P-typedisk-likedomainSMIC poly-Si TFTsexhibitedexcellentreliabilityunderhighgatebias—stressandhotcarrierbias—stress． Keywords：disk—likedomainSM IC poly-Si；poly-SiTFTs；TFT reliability CLC number：TN321 ．5 Documentcode：A havebeenobtainedusingthetechniquesofexci— 1 Introduction marlaserannealing (ELA)[。]andmetal—induced W hilemostactivematrixliquidcrystaldis— crystallization (M IC)[43．Thereareseveralvaria- plays(LCD)aremadeofamorphoussilicon (a—