分子沉积膜纳米压痕过程的分子动力学模拟 - 摩擦学学报.pdf

第 23 卷　第 5 期 摩 擦 学 学 报 23, 　 5 V o l N o 2003 年 9 月 TR IBOL O GY Sep , 2003 分子沉积膜纳米压痕过程的分子动力学模拟 1, 2 2 2 兰惠清 , 张嗣伟 , 王德国 ( 1. 北京交通大学 机械与电子控制工程学院, 北京　100044; 2. 石油大学 机电工程学院, 北京　102200) 摘要: 在利用联合原子模型并考虑静电力作用的基础上, 采用分子动力学模拟方法研究了金探针作用下分子沉积膜 的纳米压痕过程, 并对其纳米力学行为进行了理论分析. 结果表明, 分子沉积膜在探针压下过程中出现了明显的接触 跳跃现象, 探针下面的膜的分子倾角和法向载荷呈现出相同的滞后趋势, 这可能是探针和分子沉积膜之间粘着力作用 的结果. 关键词: 分子沉积膜; 纳米压痕; 分子动力学模拟 中图分类号: TH 117. 3 文献标识码: A 文章编号: (2003) 　　分子沉积膜( ) 是利用阴阳离子的静电吸附 势函数确定其价力场, 同时针对分子沉积膜本身的特 M D 反应特征, 通过相反离子体系的交替分子沉积所制备 q q 点, 引入静电力作用势函数∑ i j , 即: [ 1 ] i j rij 的层状有序 自组装多层超薄膜 . 同LB 膜和自组装 膜相比较, 分子沉积膜具有制备简单、热稳定性和长 E = ∑K l ( l- l0 ) 2 + bond s 2 [2 ] 期稳定性好、不受基体形状和面积限制等优点 . K 2 K X 2 ( - ) + ( - ) + 分子动力学模拟方法具有沟通宏观特性与微观 ∑ 0 ∑ X X 0