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阳极氧化铝_AAO_模板法制作的直径和长度一致的碳纳米管_英文_
第31 卷 第1 期 电 子 器 件 V ol. 3 1 No. 1
2008 年2 月 Chinese Journal Of Elect ron Dev ices Feb. 2008
Uniform Diameter and Length of Carbon Nanotubes Prepared by Anodic
Aluminum Oxide( AAO) Templates
*
L I Ch i-shing , S U Sh ui-hs iang , ZH A N G Fang-bin, YOK O YA MA M eiso
1. D ep ar me n of El ec r onic Eng inee ri ng , I Sh ou Univ er s i y , Co un y , Taiw an, Chi na;
2. D ep ar me n of El ec ric Eng i neeri ng , I S hou Univ ers i y , T aiw an, China
Abstract We fabricat e t he anodic aluminum ox ide ( AA O) t empl at es of different param et ers on t he alum-i
num substrates. n order to get nano por es w it h different sizes, w e ascribe t he variat io n of t he f ir st anodiza-
t ion t ime separately. T he pore density w it h chang ing first anodization t ime can be easily t o adjust , and the
leng th of alum inum ox ide pore w ere co ntrolled using et ching t echnique. n t his study, t he nanoporo us
AA O pore w it h different diamet er and lengt h have been successf ully prepared by r eg ulat ing anodization and
et ching paramet er. H ig hly aligned carbon nanotubes ( CNT s) w ere gr ow n in v ert ical channels of t he AA O
templat e can be contr olled by t he diam et er and t he leng th of AA O por e. Nanoporo us AA O t emplat es w it h
hex ag onal pore arrangement w ere prepared by t he tw o- st ep anodizat ion of aluminum film s, t he size and the
leng th of AA O pore can be varied because t he diamet er and t he lengt h of t he AA O nano por es is dependent
upon anodizat ion par am et ers.
Key words anodic aluminum ox ide; f ield emission; carbon nano tubes
EEACC 2550
(AAO)
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