光电子微纳制造工艺平台设备应用培训计划及测试时间安排.pdf

光电子微纳制造工艺平台设备应用培训计划及测试时间安排 时间 开始地点 培训内容 培训人 参与培训项目组负责人 10 月23 日 入退超净间行为规范 赖建军、周文利、史铁林、陈长 更衣室 潘彬 上午9 ：00—11 ：00 湿法腐蚀清洗工艺标准 虹、甘志银、缪向水 10 月23 日 入退超净间行为规范 刘文亮、陈长清、黄莺、曾晓燕、 更衣室 潘彬 下午2 ：30—4 ：30 湿法腐蚀清洗工艺标准 高义华、汪毅 10 月28 日 缪向水、赖建军、史铁林、甘志 超净间 光刻工艺 黄光 上午9 ：00—11 ：30 银、高义华 10 月28 日 金相显微镜 缪向水、史铁林、甘志银、高义 超净间 李志雯 下午2 ：30—5 ：00 台阶仪 华 10 月30 日 刘文亮、周文利、汪毅、曾晓燕、 超净间 光刻工艺 黄光 下午2 ：30—5 ：00 陈长虹 10 月30 日 金相显微镜 超净间 李志雯 汪毅、曾晓燕、陈长虹 下午2 ：30—5 ：00 台阶仪 11 月4 日 金相显微镜 超净间 李志雯 刘文亮、陈长清、黄莺、赖建军 上午9 ：00—11 ：30 台阶仪 11 月4 日 超净间 高真空磁控溅射工艺 黄光 周文利、赖建军、陈长虹 下午2 ：30—5 ：00 11 月6 日 超净间 高真空磁控溅射工艺 黄光 廖广兰、史铁林、甘志银 上午9 ：00—11 ：30 光电子微纳制造工艺平台设备应用培训计划及测试时间安排 11 月6 日 缪向水、赖建军、史铁林、汪连 测试间 原子力显微镜 李志雯 下午2 ：30—5 ：00 山 11 月13 日 黄黎蓉、甘志银、高义华、陈长 测试间 原子力显微镜 李志雯 上午9 ：00—11 ：30