项目二机械手按压工件压力检测r 2.ppt

主讲：XXX 学校：XXX 项目二 机械手按压工件压力检测 知识点3 压阻式压力传感器的结构和工作原理 一、压阻式固态压力传感器 图02-01-003-01 压阻式固态压力传感器 I P1 3 2 P2 R1-△R R2+△R U0 R3-△R R4+△R Ei a）外形图 b）等效电路 c）硅膜片及应变片 项目二 机械手按压工件压力检测 感受压力的膜片通过集成电路工艺加工成四个阻值相等的电阻，R1和R4位于膜片中央，R2和R3位于膜片边缘，四个电阻接入直流电桥，构成差动全桥方式。当膜片两端压力相等，膜片不发生变形，四个电阻相等，电桥无输出。 项目二 机械手按压工件压力检测 R2-△R R1+△R U0 R3-△R R4+△R Ei (b) 当膜片两端压力不等时，膜片产生变形，位于膜片中心的电阻R1和R4被拉伸，位于膜片边缘的电阻R2和R3被压缩，产生形变，引起电阻阻值变化。当四个电阻阻值发生变化时，电桥失去平衡，输出电压与膜片两侧的压差成正比。 项目二 机械手按压工件压力检测 R2-△R R1+△R U0 R3-△R R4+△R Ei (b) 恒压源 恒流源 直流电桥供电电源 电桥输出电压与ΔR/R 成正比，输出电压受环境温度的影响。 U0=U△R/(R+△Rt) 电桥输出电压与ΔR成正比，环境温度的变化对其没有影响。 U0=I·△R 项目二 机械手按压工件压力检测 二、X型扩散硅压力传感器的结构和工作原理 当1、3脚有恒流输入时， 2、4脚两端的输出电压U0与硅片所受的压力成正比。 刻蚀膜片边缘 横向电压应变仪 1 2 3 4 电源 电压 R温度补偿 差分输出电压 图02-01-003-02 X型扩散硅压力传感器的硅片结构 项目二 机械手按压工件压力检测 图02-01-003-01 MPX10压阻式压力传感器图形符号及测量电路 二、X型扩散硅压力传感器的结构和工作原理 项目二 机械手按压工件压力检测 Ei RP U0 - + 1 4 2 3 主讲：XXX 学校：XXX 项目二 机械手按压工件压力检测