级联式平面抛物面型X射线组合折射透镜的设计及制作.pdfVIP

物理 学 报 ActaPhys．Sin．Vo1．63，No．19(2014) 194103 级联式平面抛物面型X射线组合折射透镜的 设计与制作冰 付明磊 )2) 乐孜纯1)2)t 周寒青 )2) 张明 )2) 全必胜 )2) 王华3) 毛成文3) 王 昌辉 )2) 沈小燕 )2) 1)(浙江工业大学理学院，杭州 310023) 2)(浙江工业大学光学工程研究所，杭州 310023) 3)(中国科学院上海应用物理研究所，上海 201204) (2014年4月2日收到；2014年4月24日收到修改稿) x射线组合折射透镜 (CRL)己逐步成为同步辐射光源下x射线聚焦光学器件的标准配件之一，它具有结 构紧凑、易调节校准、适用光子能量范围大等优点．本文设计了一种级联式平面抛物面型CRL，它将 Ⅳ1个具 有较大抛物面几何孔径fR0)的折射单元I与Ⅳ2个具有较小抛物面顶点曲率半径 (R)的折射单元II级联，以 解决常规CRL设计过程 中焦斑尺寸与透过率的矛盾．采用PMMA材料，利用LIGA技术制作了一组级联式 平面抛物面型CRL，其中折射单元I的主要结构参数为Ⅳ1= 15，R1=200 m，2Rol=564 m；折射单元 II的主要结构参数为Ⅳ2=20，R2=50 m，2Ro2=140 m．在上海光源 同步辐射线束上，所制作的级联式 平面抛物面型CRL实现了对初始光斑尺寸为200p．m X100 m的入射X射线的一维聚焦，测试得到的焦距 为 1．052m，横向焦斑尺寸为24．9pm@8keV，透过率为2．19％． 关键词：组合折射透镜，X射线光学器件，抛物面型透镜 PACS：41．50．+h，07．85．一m，07．85．Tt DOI：10．7498／aps．63．194103 常重视对 CRL的研究与应用．他们利用同步辐射 1 引 言 光源和CRL实现纳米层析成像fNanoCT)[】、微 束x射线荧光谱仪fmicroXRF)Is]、微束X射线吸 随着X射线无损检测与成像技术的普及与发 收谱仪 fmicroXAF)[。】等高分辨率的无损检测与 展，面向各类X射线光学器件的理论研究与制作水 成像系统，并且成功应用于材料科学、生命科学等 平取得了长足的进步 [1-3]．x射线组合折射透镜 领域． fcompoundrefractivelenses，CRL1是基于光线折 在CRL的设计与制作方面，近年的代表性成 射原理实现对入射X射线聚焦与成像的光学器件． 果有：2011年，ESRF』的研究人员以CRL为基础提 与K—B镜、菲涅尔波带片、毛细管透镜等 同类x射 出了一种新型的X射线聚焦系统——x—rayTrans— focator [1o] 线聚焦光学器件相 比，CRL具有结构紧凑、易调节 ． X—rayTransfocator可 以通过改变CR_ 校准、适用光子能量范围大等优点，特别适合于硬 L的透镜个数适配入射x射线能量和调整焦距，它 X射线波段的聚焦与成像 [4-6]．近年来，欧洲 同步 可 以实现焦斑尺寸为6—42 m的一维聚焦．2012 辐射研究中心fESRF)、德国电子同步加速器研究 年，DESY的研究人员以Be材料抛物面型一维和 所 fDESY1等世界知名的同步辐射研究中心都非 二维CRL为基础，设计一种新型的X—rayTrans一 }高等学校博士学科点专项科研基金 (批准号：20133317110006)、国家国际科技合