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烧结炉操作说明书
1.目的确保烧结工艺处于稳定、受控状态。2.适用范围适用于印刷后硅片在烧结炉中的烧结过程。3.职责本作业指导书由技术部负责编写和修订;所有操作人员必须严格按照该文件规定进行操作。4.作业准备4.1劳保用品:穿戴好净化分体服、一次性手套、一次性口罩、帽子、布鞋。4.2确认设备通电正常、冷却水正常、压缩空气气压正常、排风正常。5.作业步骤5.1工艺准备该作业由组长执行!5.1.1开机:具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。5.1.2设备确认检查设备和PC上是否有故障显示(红色灯或/和警告窗口);确认冷却水温是否正常。确认设备运行正常方可执行后续作业;确认急停按钮已经弹起。若设备有故障显示,应立即汇报班长。5.1.3确认工艺参数每班接班后,生产工序长需对工艺参数进行点检,发现异常及时报告工艺人员,如无异常,将点检结果填写于《烧结工艺参数点检表》中,见附件一。5.2工艺启动,该作业由组长执行!5.2.2实际参数确认 等待参数:速度、温度达到稳定后;确认实际参数在设定的区间内(警示灯转为绿色)。5.3硅片流入5.3.1放入预烧片开机和设定温度修改后,在正常硅片流入前,放入两片预烧片(从低效片中取出的电池片),5.3.2 烧结工艺确认在放入预烧片后,流入印刷完成后的硅片5片。由工程师确认烧结工艺正常。5.3.3硅片正常流入待烧结工艺确认后,印刷完电极后的电池片自动流入烧结炉,无需人工操作。5.4电池片流出取出预烧片,重复使用。观察流入电池片的位置,如果发现电池片偏移,手动移正,保证流入硅片位置无偏移。取出烧结过程中破损电池片;定时对流出电池片做外观检查。如果分选仪停止,用手取出流出的电池片,防止由于电池片堵塞造成的破片。发现连续异常及时通知丝网印刷工序操作人员。5.5关机该作业由组长执行!5.5.1确认烧结炉中所有加工硅片已经流出;5.5.2关机:具体步骤请参考《烧结炉维护操作规程》。6.自检该作业由组长与操作人员一起执行!操作人员在流出硅片检测过程中,对硅片进行外观自检。自检要求如下所示:6.1表面检验参考《单晶硅太阳电池企业标准》检测烧结后电池片正面和背面,无表面外观问题;翘曲度符合检测标准。6.2破片检验要求硅片没有裂片、没有明显裂纹、崩边、缺角。6.3 烧结温度变更记录 烧结温度做改动时,在《工艺参数变更记录表》作出详细记录。6.4工艺参数表温区温区1温区2温区3温区4温区5温区6温区7温区8温区9冷却水压力/Mpa带速/rpm温度/℃300±15320±15340±15380±20480±25540±25650±30820±40850±400.25~0.4543±2气流量40±1045±1025±1015±1020±1015±510±515±550±10 各温度设定值与实际值偏差要求在±5℃。7.异常处理7.1设备出现故障信号(红灯显示),组长应立即报告班长,并通知丝网印刷工序停止印刷。7.2工艺出现异常,如破片率高、连续出现外观问题,组长立即通知丝网印刷停止印刷,通知班长和工程师。8.相关文件《单晶硅太阳电池企业标准》9.安全注意项9.1非该工序生产、工艺和维护人员不得对设备进行操作、拆卸和改装。9.2设备运行时禁止打开,拆卸安全门。9.3在炉体温度降到50℃下之前,禁止对设备内部做任何操作。9.4烧结炉内有硅片时禁止降温。10.记录表格《工艺参数变更记录表》《烧结工艺参数点检表》 更改记录版次条款更改内容说明更改日期更改人A/15.1.3 确认工艺参数增加点检表样表,见附件一2010-6-4臧其军 附件一
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