进动气囊抛光的驻留时间优化-光学精密工程.PDF

第 卷 第 期 光学精密工程 棽棽 暋 棻棽 暋 斨旓旍棶棽棽暋斘旓棶棻棽 暋暋暋暋暋暋暋暋暋暋斚 旚旈斻旙斸旑斾斝旘斿斻旈旙旈旓旑斉旑旈旑斿斿旘旈旑暋暋暋暋暋暋暋 年 月 旔 旂 旂 棽棸棻棿 棻棽 暋 暋 暋 斈斿斻棶棽棸棻棿 文章编号 棬 棭 暋棻棸棸棿灢椆棽棿斬棽棸棻棿棻棽灢棾棾棸棾灢棸椃 进动气囊抛光的驻留时间优化 灣 棳 棳 棳 张利鹏 杨 辉 鲍龙祥 李 静 暋 暋 棬 棳 棭 北京航空精密机械研究所精密制造技术航空科技重点实验室 北京 棻棸棸棸椃椂 椇 棳 暎 棳 摘要 提出了一种新的进动气囊抛光驻留时间算法 用于实现高精度的光学玻璃零件的加工 首先 通过抛光工艺试验 椈 棳 暎 棳 确定抛光去除率函数 在矩阵迭代算法的基础上 给定一个合适的驻留时间初值函数 然后 采用分层阈值去除法进行 棳 棳 暎 暍 驻留时间的优化求解 并加上残余误差方差最小的判定条件 从而得到完整的驻留时间函数 该算法适用于非球面 自 暎 棳 由曲面等光学玻璃元件的抛光加工 用斖斄斣斕斄斅对残余面形误差进行了仿真 仿真结果表明残余误差精度斝斨值可以 暎 棳 暎 棳 从抛光前的 减 收敛到棸棶棻 旐左右 最后 对光学玻璃平面进行了抛光 实际抛光后 该玻璃表面粗糙度 斸 棸棶棻椀椆 旐 毺 毺 棳 暎得到的结果验证了提出驻留时间算法的合理 小到 棸棶棸棽棿 旐 面形精度斝斨值由抛光前的 棸棶椃椀椂 旐减小到 棸棶棻椀椄 旐 毺 毺 毺 棳 暎 性 表明该算法可为以后进行复杂面形工件的气囊抛光研究提供理论基础 椇 椈 椈 椈 椈 关 键 词 光学玻璃 进动气囊抛光 驻留时间算法 矩阵迭代 残余误差 暋 暋 中图分类号椇 文献标识码椇 椇 棷 斣斞棻椃棻棶椂椄暋暋 斄暋暋斾旓旈棻棸棶棾椃椄椄斚斝斉棶棽棸棻棿棽棽棻棽棶棾棾棸棾 斚 旚旈旐旈旡斸旚旈旓旑旓旀斾旝斿旍旍旚旈旐斿斸旍旓旘旈旚旇旐旀旓旘 旘斿斻斿旙旙旈旓旑斺旓旑旑斿旚旓旍旈旙旇旈旑 旔 旂 旔 旔 旂