原创力文档- 1、原创力文档（book118）网站文档一经付费（服务费），不意味着购买了该文档的版权，仅供个人/单位学习、研究之用，不得用于商业用途，未经授权，严禁复制、发行、汇编、翻译或者网络传播等，侵权必究。。
- 2、本站所有内容均由合作方或网友上传，本站不对文档的完整性、权威性及其观点立场正确性做任何保证或承诺！文档内容仅供研究参考，付费前请自行鉴别。如您付费，意味着您自己接受本站规则且自行承担风险，本站不退款、不进行额外附加服务；查看《如何避免下载的几个坑》。如果您已付费下载过本站文档，您可以点击 这里二次下载。
- 3、如文档侵犯商业秘密、侵犯著作权、侵犯人身权等，请点击“版权申诉”（推荐），也可以打举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
- 4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
- 5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次， 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
43 2 人 工 晶 体 学 报
第 卷 第 期 Vol． 43 No． 2
2014
2014 2 JOUＲNAL OF SYNTHETIC CＲYSTALS February ，
年 月
单晶硅表面制绒及其特性研究
1 ，2 1 ，2 1 ，2 1 1 1
小宛 ， 德贤 ， 宏琨 ， ， ，
戴 张 蔡 仲玉泉 于 倩 苏 超
(1． ， 300071 ;2． ， 300071)
南开大学信息技术科学学院电子科学与微电子系 天津 天津市光电子薄膜器件与技术重点实验室 天津
摘 : (NaOH ，Na CO ，NaHCO ，Na SiO ，Ca (OH)，CH COONa)和 (IPA)
要 研究了在不同的碱液 2 3 3 2 3 2 3 异丙醇 制绒下单晶
， 。 ，
硅表面金字塔结构的变化情况 使用分光光度计测量了不同结构表面的反射率变化 结果表明 金字塔绒面的表
， 7． 8% 。 SEM
面反射率与金字塔结构及大小分布情况有关 实验中获得的最低表面反射率为 金字塔结构断面 图显
， 80° 。 ，
示金字塔顶角在断面上的投影角度不会随反应条件和金字塔大小改变 维持在 左右 最后 通过制绒后硅片表
， ，
面金字塔形貌的扫描电镜图样和反射率的分析 提出了织构率α 的概念 得到了快速了解单晶硅表面金字塔覆盖
率的方法。
: ; ; ;
关键词 单晶硅 陷光结构 织构率 反射率
:TK514 ，TM914． 4 :A :1000-985X (2014)
中图分类号 文献标识码 文章编号 02-0308-06
Study on the Property and Texturing of Monocrystalline Silicon
文档评论（0）