基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究.pdfVIP

l：|乙掳磅度 基于AFM纳米机械刻蚀的分子动力学模拟研究粜 Sn．刀DYoFMOLECULARDYNANⅡCSSIⅣIIⅡ。ATIONTHE NANO—L删oGRA唧BASEDAI唧垤 蒋洪奎料1胡礼广 陆爽 姚汤伟 (浙江师范大学交通学院，浙江金华321019) JIANG HU LU HongKuiLiGuangShuang、『?AOTangWei (C：DZ姆矿C0聊眦而删溉，历撕Ⅳ0仃删研妇昭妙，如访∞，秭慨321004，吼讹) 摘要基于原子力显微镜—蜊(atomic 待于进一步研究。分子动力学模拟技术是近年来发展的继实验和理论研究后的又一重要研究方法。文章综述采用分子 动力学模拟技术，研究基于AFM的纳米机械刻蚀加工的进展，分析纳米尺度的加工机理，评述探针、刻蚀工艺、工件材料 等因素对纳米机械加工过程的影响。文章最后指出今后研究的方向。 关键词原子力显微镜分子动力学模拟纳米机械刻蚀 中图分类号聊42．9 A蛔ctN卸o-rnacIla血cal based删cfjrce the 0ftlle lith0夸aF崎teclIrique IIlicroscoPe(删)i8iIIlpo咖tpan scmuningpmbe h鹄Inadea its Trleckmi锄relat∞totlle曲mctur}eandm叫HI埒m n：Iler Htk曾即崎(SPL)，w}lichgrea：tpIDg举s．Asproc蒯ng of懒璐，fu isI崩蚰ed．Molecular isarⅣew andtlleoretical gtudy dy瑚lIIlics曲nmationII叫：hod舾weH嬲ex：pe而nentalappm∞h．Thep印er鲫mmariz船 t}1e 0frlarlo-IIlacllaJlical utdized siIllulation develol姗ent litIl唧，aphvtecIlniquemolecI】1盯凼删cs model，跚Ialy罂t}le衄ture0f山lbnm． 在on that i加uenoed nam— plDce鹊at山eat砌c．scale，mⅢIlirmt伪山efhctors鲫ch私tip，litllo董乒aphycon商ti∞s，n嘲als tI地proce髂0f IIlacIlaJlical 0ftllis lit}lo罢，aphy．Finatly，fhnIlerdevelop《I圯ntstech舯l嚼7am鲫氍筘：sted． words A删c Key fbr髓m曲嘴oop，；M嘲既Idar由砷铀I吐岱；踊m删伽；N瓣m教kmical瑚hI增rap-ly 伤他印帆幽皤删^or：皿4^临胁n鲋缸，口，m以：脚脚@163．∞m，z戮：+86—579—2100021 0f The Fo凹dationEducation PIDvince，C11ina(No． pmjectsupponedb)r of删iang received revisedfonn200r70429． Ma玎u∞ript iIl