基于机械-化学方法硅表面芳香烃重氮盐单层膜的制备.pdfVIP

第45卷第7期 机械工程学报 voI．45NO．7 2009年7月 Jul． 2009 OF ENGINEERING JOURNALMECHANICAL DoI：10．3901／JME．2009．07．249 基于机械一化学方法硅表面芳香烃重氮盐 单层膜的制备木 史立秋1，2孙涛1闫永达1 董 申1 (1．哈尔滨工业大学精密工程研究所哈尔滨150001； 2．佳木斯大学机械工程学院佳木斯154007) 摘要：基于金刚石刀具建立能在溶液中加工微小结构的微加工系统，在一端为硝基的四氟化硼芳烃重氮盐溶液州02 C6H4N2BF。)中用该系统切削硅片，利用机械与化学结合的方法使得芳香烃分子和切削过的硅片之间以共价键连接，实现硅表