基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器设计.pdfVIP

第14卷第1期 功能材料与器件学报 VoL14．No．1 AND 2008年2月 JOURNALOFFUNCTIONALMATERIALSDEVICES Feb．，2008 文章编号：1007—4252(2008)Ol一0084—05 基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听器设计 薛晨阳，陈尚，张文栋，刘俊，张斌珍，李丽华 (中北大学电子测试技术国家重点实验室，山西030051) 摘要：根据介观压阻效应原理以及柱体声学理论，提出了一种基于量子阱薄膜的纳机电矢量水听 器，期望利用量子阱薄膜材料的高灵敏度压阻效应以及水听器精巧的微结构，提高矢量水听器的灵 敏度，实现水听器的低频特性及结构微小型化。首先概括地描述了介观压阻效应原理以及柱体声 学理论；完成了水听器的结构设计；采用GaAs基微机械加工工艺完成了水听器的加工并对水听器 进行了封装，最后对研制出的水听器的性能指标进行了测试，测试结果表明：纳机电矢量水听器不 但体