操作规范 - 交通大学奈米中心.PPT

國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 清大_INVERSE OPAL_應用於光子晶體 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 清大_動機奈米線寬 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 清大_AAO表面分析 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 清大_鍍鈦表面分析 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 成大_氮化鎵表面粗化處理_於藍光LED上使用 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 成大_低溫成長氧化物奈米線 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 中原大學_尼龍膜 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 中原化工所Plasma實驗室_ 用PECVD鍍膜在Pet膜上做阻氣層(包裝材) 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 SEM拍攝照片--由學生拍攝 工研院化工所_纖維(布料) 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 結 論 交通大學奈米中心 之 掃描式電子顯微鏡是一台 性能很好的SEM， 請各位同學愛惜使用! *2005/12/30 國立交通大學 奈米中心實驗室 儀器專家︰顏順通老師 技術員：王圣瑩小姐 高解析度場發射掃描電子顯微鏡暨能量散佈分析儀 Scanning Electron Microscope (S-4700I) 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 儀器名稱  中文名稱： 高解析度場發射掃描式電子顯微鏡 暨 能量散佈分析儀 英文名稱： High-Resolution Scanning Electron Microscope Energy Dispersive Spectrometer 英文簡稱： SEM EDS 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷  儀器廠牌、型號及儀器購置年限  廠牌：Hitachi 型號：S-4700I 儀器購置年限：民國88年5月1日 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 服務項目 電子顯微鏡觀察（SEM）： 高倍率放大觀察元件、薄膜等微細結構或剖面結構。 表面能階分析（EDS）： 特定位置表面材料成分電子能階 光譜分析，用以判斷表面材料或 污染的組成。 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 重要規格 電子源：冷陰極電子槍 操作電壓：0.5kV~30kV 試片尺寸：25mm diameter x 25mm(t) 工作距離：目前設定在12mm 解析度：1.5nm (at 15kV) or 2.5nm (at 1kV) 放大倍率50萬倍（依試片本身而定） 二次電子解析度1.5nm(15kV下) EDS可提供全能譜定性分析（B5~U92）、 定量分析及元素分佈圖 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 掃瞄式電子顯微鏡原理 (SEM Scanning Electron Microscope) 儀器設備部分介紹以產生電子來源的電子槍，改變電子行進方向的電磁透鏡 ，與光學聚焦系統為主。原理部分將只簡單的描述電子束行進的電子路徑，和電子與物質之交互作用。 此外，我們也簡易的探討 為何需要以真空為操作環境， 及顯示部分樣品室內部的構造。  PS.請點選有底線部份，可連結至相關網頁。 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 真空系統 SEM的真空非常重要，好的真空條件才能有清楚的影像。 本機台由以下Pump維持真空： 電子腔及磁透鏡部份:配置3組Ion Pump； 試片腔体室(S.C.-Specimen Chamber): 配置Diffusion pump，並由一組Rotary Pump粗抽；Diffusion pump 由泠卻循環水冷卻。 小腔体(S.E.C.- Specimen Exchange Chamber): 配置一組Rotary Pump。 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 操作方式 操作方式：SEM簡易操作步驟 ( 請點選) 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 操作要訣 試片導電性要佳： 試片導電性一定要好，secondary detector才detect 的到。很多試片導電性不好，它是可以鍍Pt或Au的。 但往往Pt鍍的太薄，影像不清楚(因導電性不佳);鍍太厚，會蓋住原想看的pattern。導電較差的材質，如矽或二氧化矽等等材料會charge up的話，可在sample鍍金之後，把導電碳膠帶直接貼在正面， 把電子引到基座去，只留一個小slit來照SEM。 國立交通大學 奈米中心 陳悅婷 操作要訣