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半导体磊晶成长试验室
* 95年度教學實驗研究設備補助案執行績效簡報 半導體磊晶成長sample表面觀測光學顯微鏡 ― 半導體磊晶成長實驗室 ― 國立高雄海洋科技大學 海洋工程學院 微電子工程系 助理教授 張 永昇 ?申請補助之背景與目的 1. 背景 *微電子工程系以發展半導體相關領域之研究為主軸 *半導體各種尖端元件之研發皆須從「磊晶成長」出發，而 磊晶成長後之結晶品質將大幅影響半導體元件之特性 *「微分干涉顯微鏡」可藉以評估磊晶成長層之表面狀態且 分析其結晶品質，藉以作為改善磊晶成長條件之重要憑 藉，是研發各種半導體重要不可或缺之重要設備， 亦廣 為全球半導體研究者所使用 2. 目的 *評估磊晶成長層結晶品質，爭取更多實用之data，進而作 為改善磊晶成長條件之重要憑藉 *提升微電子工程系與他校相關科系之學術競爭力 本「微分干涉顯微鏡」之實體圖 日本Nikon LV150DIC ?執行績效 1.作為半導體磊晶成長表面觀測之用 (1)張 永昇, 矽晶圓上化合物半導體奈米構造之基礎研究 (94學年度鼓勵教師從事研究 ) (2)張 永昇, Si晶圓上高品質GaN磊晶成長之基礎研究 (95學年度鼓勵教師從事研究 ) 2.作為微電子工程系教師從事半導體相關研究表面觀測之用 目前亦提供作為系上相關教師之半導體教學與研究用 利用本「微分干涉顯微鏡」所觀測到之半導體奈米構造 矽晶圓上化合物半導體奈米構造之基礎研究“, 張 永昇 (94學年度鼓勵教師從事研究 ) Fig. 1 The GaAs wires grown on Si substrate. *
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