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硅微陀螺机械热噪声研究.pdfVIP

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  • 2017-07-29 发布于北京
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硅微陀螺机械热噪声研究.pdf

    第27卷第6期增刊 仪器仪表学报 Vol-27No．6 2006年6月 Instrument Jun．2006 ChineseJournalofScientific 硅微陀螺机械热噪声研究 刘 梅周百令 (东南大学仪器科学与工程系 南京 210096) 摘要振动式硅微陀螺仪要在各种噪声干扰下，检测出极其微弱的有用信号。随着硅微陀螺性能的不断提高，机械热噪声 对微陀螺的影响愈加显著，决定了振动式硅微陀螺的极限分辨率。本文给出了机械热噪声的产生机理，推导得出机械热噪声 等效角速率表达式。分析表明，提高微陀螺的品质因数、增大质量和谐振频率可减小机械热噪声。 关键词 振动式硅微陀螺 机械热噪声 Researchonmechanical—thermalnoiseinmicromachined

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